フィールドエミッションによる低速電子線干渉技術の研究

场发射慢电子束干涉技术研究

• 批准号: 08650049
• 负责人: 来 関明
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650049/
• 关键词: フィールドエミッション; 電子線干渉; 低速電子線; 位相再生法; 干渉計測

電子の波動性を利用する電子線干渉技術,とくに低速電子を用いた干渉計測は軽原子による電子の位相変化が大きくなり、干渉計を用いた位相計測によりその試料の構造を観察・計測することができることから,最近注目されている.本研究では,電子のフィールドエミッションに必要な超微細な先端をもつチップが半導体基盤上に並べて作製することが可能になったことに注目し、新しいタイプの干渉計を構築することを試み、低速電子線による干渉法の基礎の確立を目的とした。とくに以下のテーマについて研究した.1)位相像と物質構造との関係電子ビームが単位電荷に入射する際、電子の受ける位相変化を三次元的に解析することを行った.そして,原子,結晶体の試料に対して、シミューレーションにより,位相像と試料の構造との関係を明らかにした.2)低速電子干渉計の構成バイプリズムによる二つの球面波の干渉法を提案し,その分解能と要求される干渉性について明らかにした.干渉パターンから試料の位相像を求める手法も併せて提案した.また,2つのフィールドエミッションチップによるヤングの干渉の可能性を検討した。3)実験装置の試作講座で所有する電子ビーム露光装置及びエッチング装置などにより、微小なフィールドエミッションチップによる実験を行った.それによって,微小エミッターによる電子線干渉計を実現する見通しを得ることができた.これから,検証実験をさらに進めていく所存である.

With the use of electronic interference technology, low-speed electronics are used for low-speed power generation. Phase analysis is used for low-speed power generation. Phase analysis is used to generate electrical equipment. In this study, it is necessary to use ultra-micro devices to make sure that the semiconductors are used on the basis of the semiconductor. in this study, it is necessary to use the ultra-micro device to make sure that the semiconductors are on the basis of the semiconductor. in this study, it is necessary to make sure that the purpose of the low-speed power line dry-wire method is to make sure that it is necessary to pay attention. The following phase analysis is related to the following phase analysis. 1) Phase analysis is used to analyze the three dimensions of the incident charge and the phase transformation of electrons. The temperature field, the atom, the crystal material, the temperature, the temperature, The position of the material is similar to that of the modus operandi. I don't know, I don't know. 3) the equipment shall be used for the operation of all the electrical equipment, such as the exposure equipment and the equipment, as well as the miniature equipment, the equipment, and the equipment. The power supply of the electric power line can be obtained by the design of the electric power line. Please make sure that you do not know what you have saved.

项目成果

G.Lai,T.Hirayama,M.Itoh: "Real-time electron-holography using optically addressed spatial modulator" Proc.of Zhejiang University-Shizuoka University International Symposium on Engineering and Science,Hangzhou,China. NO.1. 51-54 (1996)

G.Lai，T.Hirayama，M.Itoh：“使用光学寻址空间调制器的实时电子全息术”浙江大学-静冈大学国际工程与科学研讨会论文集，杭州，中国。

竹田光一郎,来関明: "二つの球面波による低速電子線干渉法" 平成9年電気学会全国大会 予稿集. 3-24 (1997)

Koichiro Takeda、Akira Kiseki：“使用两个球面波的慢电子束干涉测量”1997 年日本电气工程师学会全国会议记录 3-24 (1997)。