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Bi系高温超伝導体を用いた組成制御型傾斜機能薄膜の作製と物性に関する研究

铋基高温超导体成分控制功能梯度薄膜的制备及物理性能研究

基本信息

批准号：
10142201
负责人：
神戸士郎
金额：
$ 1.28万
依托单位：
Yamagata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

酸化物超伝導体などの電子デバイス応用向けの薄膜作製には、結晶方位のコントロールが重要である。一般にこれらは、デポジション時の基板温度、酸素分圧の調整などによって行われていた。本研究はこれを一歩進め、水素結合を使って積極的に配向性制御を行おうとする試みである。[001]配向したCa(OH)_2薄膜を形成し、脱水時のトポタキシー機構を使って[111]配向のCaO薄膜を作製する。こうして特定の方位に配向させた薄膜は、酸化物超伝導体の傾斜機能バッファ層,ブロック層などへの応用が考えられる。ところで、これまでのスプレー法を使った研究では、問題があった^1。それは、完全な[111]配向CaO薄膜ができなかったことである。本研究の目的は、パルスレーザーアブレーション法を用いて、完全に[111]配向したCaO薄膜を作製することである。[001]配向Ca(OH)_2薄膜を作るため、パルスレーザーデポジション(PLD)法を使用した。[001]配向Ca(OH)_2薄膜から[111]配向CaO薄膜を作るため加熱脱水を行ったが、その最適条件は800℃^*2h(空気中)であった。実験の結果、完全に[001]配向Ca(OH)_2薄膜が作製され、それの加熱脱水により完全に[111]配向したCaO薄膜が作製された。[111]配向したCaO薄膜ができたのは、加熱脱水時にトポタキシー機構が働いたからであり、CaOターゲットを利用したPLD法では作製の困難な配向を持つ薄膜である。今後の課題は面内配向の制御であるが、これは格子整合の良い基板を使用することにより可能になると考えている。PLD法を用いることにより、MgO基板上に完全に[001]配向したCa(OH)_2薄膜を作製した。これを加熱脱水することによりトポタキシー機構が働き、完全に[111]配向したCaO薄膜が作製できた。このCaO薄膜は、酸化物超伝導体の傾斜機能バッファや酸化物超伝導体のブロック層としての利用が期待される。

Acidic superconductors are important for the preparation of thin films and crystal orientation. Generally, the substrate temperature and the acid component pressure are adjusted during the process. In this study, we try to make progress in the binding of water and element, and to control the active alignment. [001]Formation of aligned Ca(OH) 2 thin films and formation of aligned CaO thin films during dehydration The orientation of the film is different from that of the acid superconductor.ところで、これまでのスプレー法を使った研究では、问题があった^1。[111] Aligned CaO thin films are completely aligned. The purpose of this study is to prepare CaO thin films with complete [111] alignment by using a novel method. [001]A new method for preparing oriented Ca(OH) 2 thin films was proposed. [001]Alignment Ca(OH)_2 thin film: [111] Alignment CaO thin film: [112] The optimum condition for dehydration is 800℃^*2h(in air). As a result, Ca(OH)_2 thin films with complete [001] alignment were prepared, and CaO thin films with complete [111] alignment were prepared. [111]The alignment of CaO thin films is difficult to obtain by PLD method. The future problem is the control of in-plane alignment and the use of lattice integrated substrates. The PLD method was used to fabricate Ca(OH) 2 films with complete [001] alignment on MgO substrates. This allows for heating and dehydration, and the CaO film can be produced with a smooth and fully [111] aligned mechanism. This CaO thin film is expected to be used for the tilt function of acid superconductors.