Generation of ceramic structures by laser pyrolysis of polysilazane

通过聚硅氮烷激光热解生成陶瓷结构

• 批准号: 5289042
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Andreas Otto
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Fertigungstechnik und Photonische Technologien
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5289042?language=en
• 关键词: Generation; ceramic; structures; laser; pyrolysis

Ziel dieses Projektes ist es, die selektive Laserpyrolyse von Polysilazan für die Herstellung funktionaler Strukturen und keramischer Komponenten in der Mikrosystemtechnik zu qualifizieren. Um über den bisherigen Kenntnisstand hinaus eine Optimierung der Prozeßführung und Festlegung der Verfahrensgrenzen zu erzielen, ist zunächst die Erarbeitung eines vertieften Prozeßverständnisses notwendig. Zu diesem Zweck sollen im ersten Projektjahr grundlegende Untersuchungen zur Laserpyrolyse durchgeführt und technologische Fragestellungen zur Machbarkeit des Verfahrens geklärt werden. Schließlich soll zur Dokumentation der Bearbeitungsergebnisse eine umfangreiche Charakterisierung der Strukturen erfolgen. Die Nutzbarmachung dieses Strukturierungsverfahrens für die Mikrosystemtechnik durch die gezielte Entwicklung einer Schichtfunktionalität sowie seine Eignungsprüfung zur Herstellung keramischer 3D-Mikrobauteile definieren den Forschungsschwerpunkt ab dem zweiten Projektjahr.

Ziel dieses Projektes is es，die selektive Laserpyrolyse von Polysilazan für die Herstellung funktionaler Strukturen und keramischer Komponenten in der Mikrosystemtechnik zu qualifizieren. Um über den bisherigen Kenntnistand hinaus eine Optimierung der Prozeßführung und Festlegung der Verfação soughzen zuerzielen，ist zunächst die Erarbeitung eines vertieften Prozeßverständnisses notwendig. Zu diesem Zweck sollen im erjektjahr grundschumen de Untersuchungen zur Laserpyrolyse durchgeführt und technologische Fragestellungen zur Machbarkeit des Verfahrens geklärt韦尔登. Schließlich soll zur Dokumentation der Bearbeitungsergebnisse eine umfangreiche Charakterisierung der Strukturen erfolgen. Die Nutzbarmachung dieses Strukturierungsverfahrens für die Mikrosystemtechnik durch die gezielte Entwicklung einer Schichtfunktionalität sowie seine Eignungsprüfung zur Herstellung keramischer 3D-Mikrobauteile definieren den Forschungsschwerpunkt ab dem zweiten Projektjahr.