Study of shock wave generations using laser irradiation in jet flows for the purpose of developing debris removal method in semiconductor etching process.

研究在射流中使用激光照射产生冲击波,以开发半导体蚀刻过程中的碎片去除方法。

基本信息

  • 批准号:
    11650163
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1999
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1999 至 2000
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

In the etching process of silicon wafers in semiconductor manufacturing industry, debris is generated and sticks to the wafer. The debris damages the submicron-scale electric circuits and the productivity of manufacturing devices is much reduced.Many different cleaning techniques of such debris were tried in the past with some success but still a much more efficient method is to be developed.This research proposal is to study if a method combining a high-speed gas jet and shock waves works well for cleaning debris by using experiments and numerical analysis.In the fiscal year of 1999, a method of generating shock waves by a few milligrams of explosives and the technique of optical visualization (shadow graph, holographic interferometry, color shrielen, etc.) are developed. With the development, it became possible to observe shock wave phenomena in the range of few centimeters with good reproducibility.For the numerical simulations, we developed a 2-dimensional unstructured unsteady CFD code that can treat moving boundary and applied it for the problem of flows around a rotating cylinder.In the fiscal year of 2000, a new idea of generating non-steady flows on the solid wall using a high-speed rotor was tried. For the numerical simulations, a computer program for calculating dusty-gas flows is developed and applied to some practical problems.As described above, the project progressed as planned and the results are presented at appropriate conferences and meetings. as well as in scientific journals.
在半导体制造工业中的硅晶片的蚀刻过程中,产生碎片并粘附到晶片上。这些碎片会损坏亚微米级的电路,并大大降低制造设备的生产率。过去曾尝试过许多不同的清洁技术,取得了一些成功,但仍然需要开发一种更有效的方法。本研究建议研究是否有一种方法结合了高-通过实验和数值分析表明,高速气体射流和冲击波对清除碎片有很好的效果,在1999财政年度,用几毫克炸药产生冲击波的方法和光学可视化技术(阴影图、全息干涉测量、彩色shrielen等)。是发达的。在数值模拟方面,我们开发了能够处理动边界的二维非结构非定常CFD程序,并将其应用于旋转圆柱绕流问题。在2000财政年度,尝试了一种利用高速转子在固体壁面上产生非定常流动的新思路。在数值模拟方面,开发了计算含尘气体流动的计算机程序,并将其应用于实际问题。如上所述,项目按计划进行,并在适当的会议上介绍了结果。以及在科学期刊上。

项目成果

期刊论文数量(31)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
G.Jagadeesh,K.Takayama: "Holographic interferometric observation of micro-shock wave and supersonic jet interaction"Proceedings of Forun on High speed Jet Flows VII. FEDSM-2001. (2001)
G.Jagadeesh,K.Takayama:“微冲击波与超音速射流相互作用的全息干涉观测”高速射流论坛论文集VII。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
M.Sun,K.Yada,G.Jagadeesh,O.Onodera,T.Ogawa,K.Takayama: "Study of shock wave interaction with a rotating cylinder"Proceedings of ICHSPP24. (2001)
M.Sun、K.Yada、G.Jagadeesh、O.Onodera、T.Okawa、K.Takayama:“冲击波与旋转圆柱体相互作用的研究”ICHSPP24 论文集。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
K.Shibasaki,S.Sibasaki.G.Jagadeesh,M.Sun,K.Takayama: "Development of a high-speed cilinder rotor device for industrial applications of shock waves"23^<rd> International Symposium on Shock Waves. (2001)
K.Shibasaki,S.Sibasaki.G.Jagadeesh,M.Sun,K.Takayama:“用于冲击波工业应用的高速圆柱转子装置的开发”23^<rd>国际冲击波研讨会。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
T.Saito,P.Voinovich,E.Timofeev,K.Takayama: "Development and application of high-resolution adaptive numerical techniques in Shock Wave Research Center"23^<rd> International Symposium on Shock Waves. (2001)
T.Saito,P.Voinovich,E.Timofeev,K.Takayama:“冲击波研究中心高分辨率自适应数值技术的开发和应用”第23届国际冲击波研讨会。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
矢田和之,孫明宇,高山和喜: "回転円柱をすぎる衝撃波の反射形態に関する実験的数値解析的研究"第49回理論応用力学講演会講演論文集. 369-370 (2000)
Kazuyuki Yada、Myoyu Son、Kazuyoshi Takayama:“冲击波穿过旋转圆柱体的反射形式的实验和数值分析研究”第 49 届理论与应用力学会议论文集 369-370(2000)。
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