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SCaM/AFM/STM複合顕微鏡の開発と、ナノスケール半導体評価技術の確立

SCaM/AFM/STM複合顕微鏡の開発と、ナノスケール半導体評価技術の確立
SCaM/AFM/STM复合显微镜的开发及纳米级半导体评价技术的建立
批准号:
96J02906
负责人:
富家 英登
金额:
$0.58万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
1998
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1998 至 --
关键词:

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SCaM/AFM/STM複合顕微鏡の開発とナノ構造半導体材料評価に関する研究
  • 批准号:
    99J01223
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.54万
  • 财政年份:
    1999
  • 负责人:
    富家 英登
  • 依托单位: