地球温暖化対策に対応した新規プラズマエッチングプロセス
地球温暖化対策に対応した新規プラズマエッチングプロセス
应对全球变暖对策的等离子蚀刻新工艺
批准号：
99J00893
负责人：
藤田 和司
金额：
$1.73万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
1999
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1999 至 2001
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