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クリーンルーム環境における有機物質のウエハ表面吸着機構に関する研究

クリーンルーム環境における有機物質のウエハ表面吸着機構に関する研究
洁净室环境下晶圆表面有机物吸附机理研究
批准号：
99J06300
负责人：
鍵 直樹
金额：
$2.3万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
1999
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1999 至 2001
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-99J06300/
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室内環境における健康リスク評価のための粒子状物質の発生から挙動・曝露モデルの構築
  • 批准号：
    23K26259
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $4.74万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    鍵 直樹
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
Exposure modeling of particulate matter generation and behavior for health risk in indoor environments
  • 批准号：
    23H01565
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.23万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    鍵 直樹
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
居住環境中におけるマイナスイオンのVOCへの影響