固体表面からのO^-イオンラジカルの生成機構の解明

阐明固体表面O^-离子自由基的产生机制

• 批准号: 13305055
• 负责人: 定方 正毅
• 金额: $ 9.98万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2001 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13305055/
• 关键词: 酸素負イオン; O^-; 12CaO・7A1_2O_3; 時間飛行型質量分析器; アルミナセメント; Cl2A7; イットリア安定化ジルコニア; C12A7

本研究では、高活性で工業的な応用が期待できるO^-イオンラジカルの固体表面からの生成機構の解明を目的とする。本年度は、平成13年度に、発見された活性酸素包摂材料「12CaO・7Al_2O_3」(通称C12A7)に関して研究を進め、以下の知見を得ることが出来た。(1)気相中に発生できるO^-の量は、C12A7にあらかじめ包摂されている活性酸素の量により決まることがわかった。、標準サイズのペレット(18φ,1mm厚)・1uA/cm^2のイオン放出を行った場合、12時間程度で半減することがわかった。(2)O^-の放出が終わったC12A7を、酸素中800℃に保持し、電圧を印加することで、60分程度で回復する。回復後のC12A7からは、再び、気相中にO^-を発生させることができる。(3)片側の閉じた筒状(タンマン管形状)のC12A7を用いることで、片側から酸素を供給し、他端から連続的にO^-を放出させることができた。これにより、5日以上にわたるO^-放出を確認した。(4)C12A7の酸素極に塗布する電極の材質により、O^-発生が影響を受けることがわかった。(5)C12A7中の活性酸素とSO_2の酸化除去を試み、SO_2とC12A7中のカルシウムが反応し、石膏を形成することを確認した。(6)C12A7から発生させたO^-により、シリコンウエハーを酸化させることができた。これは、高真空(10^<-5>torr)の条件での酸化処理であり、クリーン度の高い酸化処理法として、応用が期待,まれる。

In this study, the application of high-activity industry is expected to explain the purpose of the generation machine of the solid surface. The active acid packaging material "12CaO ·7Al _ 2O_3" (commonly known as C12A7) has been studied in this year, Pingcheng in 13th year. The main results are as follows: (1) in the phase, the raw material O^-dose, the C12A7 temperature, the amount of active acid, the amount of active acid and the amount of active acid in the phase. Standard 1uA/ cm (18 φ, thickness of 1mm) is used for the release of passenger traffic, and 12-hour half-time is available for half-time transmission. (2) O^-gas release temperature temperature C12A7, acid temperature 800C temperature retention temperature, electronic printing temperature temperature, 60% temperature recovery temperature. After the reply, C12A7, again, O^-in the picture, give birth to the baby, make a mistake. (3) the C12A7 is in the shape of a tube (tube shape). It is supplied to the device by the device, and is released by the O^-port of the other connection. Thank you for more than 5 days. Please send out your confirmation. (4) C12A7 acid compounds are used in the production of electrical and electrical materials, and O^-raw materials are subject to environmental protection. (5) the active acid in C12A7 is acidified and removed by acidizing, while that in SO_2 C12A7 is removed by acidification, and the gypsum is formed by gypsum. (6) C12A7 raw materials, chemical oxides, chemical acids, acidizing agents, chemical oxidizing agents, and so on. Temperature, high vacuum (10 ^ & lt;-5>torr) conditions, acidizing temperature, temperature temperature, high temperature acidizing, high temperature acidizing, high vacuum, high temperature, high temperature, high temperature,

项目成果

李 全新, 西岡将輝 定方正毅 他: "アルミナセメンC12A7からのO^-生成"化学工学会第67年会講演論文集. K213 (2002)

Quanxin Lee、Masaki Nishioka、Masatake Sadakata 等人：“O^-Formation from Alumina Cemente C12A7”第 67 届化学工程师协会年会 K213 会议记录（2002 年）。

Q.Li, M.Nishioka, M.Sadakata et al.: "Reproducibility of O^-Negative Ion Emission from C12A7 Crystal Surface"Japanese Journal of Applied Physics part2. 41(5A). L530-L532 (2002)

Q.Li、M.Nishioka、M.Sadakata 等：“C12A7 晶体表面的 O^-负离子发射的再现性”日本应用物理学杂志第 2 部分。

K.Hayashi, Q.-X.Li, M.Nishioka, M.Sadakata, H.Hosonoam et al.: "Electric Field Emission of High Destirty O Ions from 12CaO7Al2O3 Engineered to Incorporate Oxygen Radicals"Electrochemical and Solid State Letters. 5(9). J13-J16 (2002)

K.Hayashi、Q.-X.Li、M.Nishioka、M.Sadakata、H.Hosonoam 等人：“来自 12CaO7Al2O3 工程引入氧自由基的高纯度 O 离子的电场发射”电化学和固态快报。

瀬田孝将, 西岡将輝, 定方正毅 他: "モンテカルロ粒子シミュレーションによる大気圧中の酸素負イオン生成機構解析"化学工学会第67年会講演論文集. K208 (2002)

Takamasa Seta、Masaki Nishioka、Masatake Sadakata 等：“通过蒙特卡罗粒子模拟分析大气压下氧负离子产生机制”第 67 届化学工程师学会年会记录 K208（2002 年）。

馬場幸雅, 西岡将輝, 定方正毅: "光ガルバノ法による大気圧付近での酸素負イオン測定"化学工学会第34年会講演論文集. N115 (2001)

Yukimasa Baba、Masaki Nishioka、Masatake Sadakata：“利用光学电流法测量近大气压的氧负离子”化学工程师学会第 34 届年会记录 N115 (2001)。