Synthese anorganischer Materialien über die Gasphase: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren
Synthese anorganischer Materialien über die Gasphase: Interdisziplinäre Ansätze zu Entwicklung, Verständnis und Kontrolle von CVD-Verfahren
气相合成无机材料：CVD 工艺的开发、理解和控制的跨学科方法
批准号：
5313824
负责人：
Dr.-Ing. Erhard Broszeit
金额：
$0.0万
依托单位国家：
德国
项目类别：
Priority Programmes
财政年份：
2001
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2000-12-31 至 2005-12-31
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