医療用、非平衡大気圧マイクロセルプラズマのモデリング

医用非平衡大气压微细胞等离子体建模

• 批准号: 02F00827
• 负责人: 真壁 利明
• 金额: $ 0.7万
• 依托单位: Keio University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02F00827/
• 关键词: マイクロセルプラズマ; 容量結合プラズマ; 医療用プラズマ; 積分支配方程式系; RF-Arプラズマ; 準安定原子効果; プラズマトリートメント; ガス温度効果; VHFプラズマ; 原料ガス流れ

マイクロサイズのプラズマが工学的に利用される時代をむかえている。本研究のゴールはバイオ医療技術に使用するためのマイクロセルプラズマの数値シミュレーションコードの開発にあった。非平衡RFプラズマのプラズマ特性とその機能は、偏微分方程式で記述した数密度保存、運動量とエネルギーの緩和、ならびに、マクスウェル方程式からなる支配方程式系の数値解法から研究する手法が慣用的である。この方法は歴史もあり確立されている反面、任意の複雑な境界を有するリアクター内のプラズマ特性を解明するためには課題もある。本研究課題、マイクロサイズのプラズマ特性は境界条件の影響を強く受けながら実現されるものであり、境界条件の取り扱いが鍵となる。そこで、本研究では先の偏微分方程式で記述できる支配方程式系を、積分方程式系に変換した後、これを数値解法する新しい手法を提案している。本研究で対象とするバイオ医療用マイクロセルプラズマは熱の影響を極力減じた非平衡性の高いプラズマ機能を発現させるのがデザイン原理である。そこで、この積分手法から、容量結合型Ar,13.56MHzマイクロセルプラズマをモデリングし、大気圧、最低維持状態におけるプラズマ特性を初めてシミュレーションすることに成功している。具体的には、最低維持状態におけるRFプラズマは1012cm^<-3>の数密度を有し、プラズマの維持は主に、準安定励起原子(Ar^*)と電子との電離衝突によりおこなわれる、いわゆる2段階過程で実現されることなどを明らかにしている。今後はさらにガス温度分布などの制御をモデリングから実現し、安全なバイオプラズマ医療機器を実現したい。

It is important to make full use of the technology to improve the quality of engineering. The purpose of this study is to investigate the use of medical technology in the field of medical technology. The characteristics of the unbalanced RF equation, the partial differential equation, the numerical density preservation, the kinetic equation, the partial differential equation, the partial differential equation. In the history of the method, make sure that the reverse side of the system, any copy of the realm, there is a property in the system to understand the problem. In this study, the boundary conditions are strongly affected by the boundary conditions, and the boundary conditions are selected. In this study, we first describe the partial differential equations, which dominate the equation system, and the positive equation system. After the partial differential equation system, we first describe the partial differential equation. The purpose of this study is to demonstrate the effectiveness of the mechanism in the treatment of non-equilibrium diseases in the medical system. You can use the combination of Ar,13.56MHz and capacity to determine the performance of the system. The performance of the system will be improved. The performance of the system will be improved. The specific and minimum maintenance status of the RF system is 1012cm ^ & lt;-3> data density is high, the number density is high, the temperature is stable, and the atomic (ar ^ *) electrons are off-line. During the two stages of the process, you will be able to determine the performance of the system. In the future, the temperature distribution system should be used to control the safety and safety of the medical machine.