単発過渡アーク放電による微細プローブの瞬時成形と成形プローブの応用に関する研究

单次瞬态电弧放电精细探针瞬时成形研究及成形探针应用

• 批准号: 14750080
• 负责人: 武沢 英樹
• 金额: $ 2.24万
• 依托单位: Kogakuin University (2003)Saitama University (2002)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14750080/
• 关键词: 単発放電; 細線電極; 微細加工; 電極成形; 瞬時成形; 計測プローブ

直径0.1mm程度のタングステン細線電極を用いた油中単発放電により,放電後の電極先端が微細化する現象を利用した,微細電極および微細プローブの瞬時成形に関する研究を進めている.平成15年度は,瞬時成形したプローブを用いた形状計測を行い,その有効性を確かめた.形状計測は,プローブを成形した形彫放電加工機のNC装置を用いて行った.瞬時成形したプローブを保持したまま,NCテーブル上に設置された工作物の表面を,加工機の接触検知機能を用いて検知し,その点のx,y,z位置を記録する.一方向に一定ピッチプローブを移動させ,同様にその点におけるz位置を検知する.このようなpoint-to-point方式による計測を行った.同一工作物の同一測定箇所を,市販の粗さ計用のスタイラスを用いて計測した結果と比較したところ,両者には±2μmの違いが観察された.使用した放電加工機のバックラッシュ誤差(±1μm)を考慮すればほぼ同様の結果が得られていると考えられる.一方,成形したプローブ自体の形状を把握するために,プローブの側面形状の機上計測装置を試作し評価した.装置はカッターの刃を水平に配置し,カッターと瞬時成形プローブの間に5Vの基準電圧を印加した.プローブをカッターに近づけ,接触した点を印加電圧の電圧降下で検知し,その点のx,y位置を記録する.z方向にプローブを一定ピッチ移動させ,同様に側面位置を検知する.このような方法で片側一断面のプローブ形状を把握する.必要であれば,90度,180度プローブを回転させて同様な断面形状計測を行う.実際に,瞬時成形したプローブ自体の形状を測定し,プローブ形状のみならず,プローブの変心量や偏角量も計測可能なことを確かめた.単発放電を用いて成形した瞬時成形プローブにより,実際に形状計測が可能なことが確かめられた.今後は,自動計測に向けた計測時間の短時間化が課題である.

The research on the use of fine wire electrodes with diameters of 0.1 mm and fine wire electrodes with diameters of 0.1 mm Heisei 15 years ago, instantaneous shape measurement, the use of shape measurement, the existence of the property is accurate. The NC device for shape measurement and shaping is used in the machining process. The instantaneous forming of the workpiece is maintained by setting the workpiece surface on the NC surface, using the contact detection function of the processing machine, and recording the x,y, and z positions of the points. A certain direction of movement, the same direction of movement. A point-to-point approach to measurement. For the same workpiece and the same measurement site, the measurement results of the coarse calculation of the market are compared with those of the ±2μm measurement. The error (±1μm) of using the machine tool is considered. The shape of the bottom surface of a square is evaluated by an on-board measuring device The device is configured horizontally, and the reference voltage of 5V is set between the two. The contact point is detected by the voltage drop, and the x and y positions of the contact point are recorded. The contact point is detected by the movement of the contact point, and the position of the contact point is detected. The method is to grasp the shape of a section on the side of the film. It is necessary to measure the shape of the cross section at 90 degrees and 180 degrees. In fact, the instantaneous shape of the film itself is measured, the shape of the film is measured, and the angle of the film is measured. The shape measurement of the material is possible and accurate. In the future, there will be challenges in shortening the measurement time for automatic measurement.