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先端半導体デバイスの高温照射による導入格子欠陥の研究

先端半導体デバイスの高温照射による導入格子欠陥の研究
先进半导体器件中高温辐照引入的晶格缺陷研究
批准号:
15760040
负责人:
葉山 清輝
金额:
$1.15万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份:
2003
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2003 至 --
关键词:

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エピタキシャルAl_2O_3/Si超薄膜多層構造の低温形成とその応用
  • 批准号:
    06750318
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 资助金额:
    $0.58万
  • 财政年份:
    1994
  • 负责人:
    葉山 清輝
  • 依托单位: