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フォトニック4次元センシングシステムの研究開発

光子四维传感系统的研发

基本信息

批准号：
04F03215
负责人：
武田光夫
金额：
$ 1.54万
依托单位：
The University of Electro-Communications
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

従来の低コヒーレンス干渉顕微鏡は白色干渉縞のコントラストが最大値とる位置を検出して3次元形状を計測していたが,最大値の付近はコントラストの変化が滑らかであり,その形状が光源の分光分布に依存するため,最大位置の検出精度を上げにくいという問題があった.そこで,白色干渉縞の位相が光路差ゼロの点で分光スペクトルの依存性がなくなることに着目した新しいタイプの低コヒーレンス干渉顕微鏡を開発した.1.モノクロカメラを用いて多色分光スペクトルの位相情報を取得する高分解能低コヒーレンス干渉顕微鏡の開発昨年度は,3色分解能をもつカラーカメラで取得した3色干渉縞の多色分光スペクトルの位相値が一致する位相交差点からコヒーレンスピーク位置を精密検出する原理を提案したが,本年度はフーリエ分光の原理を利用してモノクロカメラを用いて多色分光スペクトルの位相情報を取得する新しい原理を提案し,それに基づく装置を試作し,ナノメートル級の高さ分解能をもつことを実験により実証した.また,計測対象の資料の波長分散の影響を明らかにした.2.数値焦点調節機能を持つ3次元スペクトル干渉デジタルホログラフィー顕微鏡の開発(継続)3次元スペクトル干渉顕微鏡は3次元物体の断層映像を得ることができるが,対物レンズの焦点深度が浅いため奥行きの深い物体の横分解能をあげることができないという問題を解決するためにデジタルホログラフィーの原理をスペクトル干渉顕微鏡に導入した新しい光トモグラフィー顕微鏡を試作し,その原理の有効性を実験により検証した.本年度はその分解能の向上をはかった.

In the future, the position of the maximum value of the white dry line of the dry mirror is detected, and the three-dimensional shape is measured. The maximum value of the close to the maximum value of the white dry line of the dry mirror depends on the spectral distribution of the light source. The maximum position of the dry mirror is detected. The phase of the white color spectrum is different from the optical path difference, and the spectral spectrum is different from the optical path difference. The spectral spectrum is different from the optical path difference. The spectral spectrum is different from the optical path difference. The spectral spectrum is different from the optical path difference. 3-color resolution can be achieved by using color resolution to obtain phase information of 3-color spectral spectrum. The phase value of 3-color spectral spectrum is consistent with the position of intersection. The principle of precise detection of position is proposed. This year, the principle of color resolution is utilized to obtain phase information of color spectral spectrum. The new principle is proposed. The basic device is tested. The high resolution of the high resolution of the high resolution. 2. Digital focus adjustment function: 3-D selection: 1-D selection: 1 D selection The horizontal resolution of objects with shallow focus depth and deep focus depth can be solved. The principle of dry micromirrors is introduced. The principle of dry micromirrors is tested. This year, the decomposition of energy can be upward.

项目成果

期刊论文数量（8）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Multi-spectral phase-crossing white-light interferometry

多光谱相交叉白光干涉测量

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
8th International Symposium on Laser Metrology, (Merida, Mexico), Proc.of SPIE Vol.5776
影响因子：
0
作者：
M.E.Pawlowski;Y.Sakano;Y.Miyamoto;M.Takeda
通讯作者：
M.Takeda

Phase-crossing algorithm for white-light fringe analysis

白光条纹分析的相交叉算法

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
Optics Communications Vol.260,Issue 1
影响因子：
0
作者：
M.E.Pawlowski;Y.Sakano;Y.Miyamoto;M.Takeda
通讯作者：
M.Takeda

Spatio-spectral digital holography for full-field tomographic imaging with adaptive focusing

用于具有自适应聚焦的全视场断层成像的空间光谱数字全息术

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
Interferometry XII : Techniques and Analysis, (Denver, USA), Proc.SPIE Vol.5531
影响因子：
0
作者：
M.E.Pawlowski;Y.Sakano;Y.Miyamoto;M.Takeda;K.Obayashi
通讯作者：
K.Obayashi

Recent developments in spectral interference microscopes

光谱干涉显微镜的最新进展

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
8th International Symposium on Laser Metrology, (Merida, Mexico), Proc.of SPIE Vol.5776
影响因子：
0
作者：
M.Takeda;D.S.Mehta;M.E.Pawlowski;T.Kurokawa
通讯作者：
T.Kurokawa

Spatio-spectral interferometry with adaptive numerical refocusing

具有自适应数值重聚焦的空间光谱干涉测量