Adaptive illumination for microscopic optical topometry

用于显微光学拓扑测量的自适应照明

基本信息

批准号：
5339708
负责人：
Professor Dr.-Ing. Hans J. Tiziani
金额：
--
依托单位：
Institut für Technische Optik (ITO)
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2001
资助国家：
德国
起止时间：
2000-12-31 至 2002-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5339708?language=en
关键词：
Adaptive illumination microscopic optical topometry

项目摘要

Vielfach kann die Mikrotopografie, aber auch die Mikrorauheit technischer Oberflächen messtechnisch nicht erfasst werden, ohne die Makrogestalt zu kennen. Die Untersuchung der Oberflächen auf deren mikroskopische Beschaffenheit(Rauheitsparameter, geometrische Parameter, Defekte) ist jedoch von großer Bedeutung für die Lebensdauer industrieller Produkte. So ist etwa bei Motoren das Volumen von Schmiertaschen der Zylinderinnenfläche eine Kenngröße für deren Verschleißverhalten und damit von großer Wichtigkeit. Ebenso bedeutsam ist der Einsatz von mikrotopometrischen Verfahren zur Qualitätssicherung von Produktionsprozessen, z. B. in der Umformtechnik.Um dieses Problem mit Hilfe der optischen Messtechnik zu lösen, soll erstmals ein kombiniertes Sensorsystem entwickelt werden, das in der Lage ist, makro- und mikroskopische 3D-Messungen durchzuführen. Hierzu kommen zwei Messprinzipien in Kombination zum Einsatz: die konfokale Mikrotopometrie und die bereits im Teilprojekt A5 des SFB 514 erfolgreich eingesetzte Technik der Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion. Diese zwei Prinzipien werden gezielt für die Aufgaben eingesetzt, deren Anforderungen sie am besten erfüllen: Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion zur Untersuchung ausgedehnter Messfelder, konfokale Mikrotopometrie zur feinauflösenden Messung in kleinen Messfeldern. Die Positionierung der Feinmessungen innerhalb des makroskopischen Messbereichs erfolgt hierbei im Inneren des Sensorsystems. Der komplexe Ablauf einer gesamten integrierten Messung bleibt somit nach außen verborgen.

Beschaffenheit（Rauheitsparameter，GeoMetrische参数，Defekte）是一款杰出的摩托车，死于世界。 Schmiertaschen derZylinderinnenflächeEineKenngrößeFürDerenverschleißverhalten和dard von vongroßerwichtigkeit。 Ebenso Bedeutsam ist der Einsatz von Mikrotopometrischen verfahren ZurQualitätssicherungvon von produktionsprozessen，Z。 B.在der umformtechnik.um中死亡问题Mit Hilfe der optischen MesstechnikZuLösen，Soll erstmals Ein Kombiniertes传感器系统Entwickelt Werden，Das in der Lage IST中，世界上最好的是世界上最好的。世界上最好的是世界上最好的。世界上最好的是世界上最好的。 Mikrotopometrie在Messengeren Messengeren中均为Untersuchung Ausgedehnter Messfelder和Messenger。 Die pistioner der der feinmessunggen innerhalb des makroskopischen messbereichs erfolgt hierbei im innenen des sensorsystems。 der komplexe ablauf einer gesamten Integrierten Messung bleibt somit nachaußenverborgen。