Adaptive illumination for microscopic optical topometry

用于显微光学拓扑测量的自适应照明

• 批准号: 5339708
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Hans J. Tiziani
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Technische Optik (ITO)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5339708?language=en
• 关键词: Adaptive; illumination; microscopic; optical; topometry

Vielfach kann die Mikrotopografie, aber auch die Mikrorauheit technischer Oberflächen messtechnisch nicht erfasst werden, ohne die Makrogestalt zu kennen. Die Untersuchung der Oberflächen auf deren mikroskopische Beschaffenheit(Rauheitsparameter, geometrische Parameter, Defekte) ist jedoch von großer Bedeutung für die Lebensdauer industrieller Produkte. So ist etwa bei Motoren das Volumen von Schmiertaschen der Zylinderinnenfläche eine Kenngröße für deren Verschleißverhalten und damit von großer Wichtigkeit. Ebenso bedeutsam ist der Einsatz von mikrotopometrischen Verfahren zur Qualitätssicherung von Produktionsprozessen, z. B. in der Umformtechnik.Um dieses Problem mit Hilfe der optischen Messtechnik zu lösen, soll erstmals ein kombiniertes Sensorsystem entwickelt werden, das in der Lage ist, makro- und mikroskopische 3D-Messungen durchzuführen. Hierzu kommen zwei Messprinzipien in Kombination zum Einsatz: die konfokale Mikrotopometrie und die bereits im Teilprojekt A5 des SFB 514 erfolgreich eingesetzte Technik der Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion. Diese zwei Prinzipien werden gezielt für die Aufgaben eingesetzt, deren Anforderungen sie am besten erfüllen: Mikrotopometrie mittels Streifenprojektion zur Untersuchung ausgedehnter Messfelder, konfokale Mikrotopometrie zur feinauflösenden Messung in kleinen Messfeldern. Die Positionierung der Feinmessungen innerhalb des makroskopischen Messbereichs erfolgt hierbei im Inneren des Sensorsystems. Der komplexe Ablauf einer gesamten integrierten Messung bleibt somit nach außen verborgen.

尽管如此，微地形学是可以实现的，但微地形学的高级技术并不一定能实现韦尔登，因为它是已知的。Die Untersuchung der Oberflächen auf deren mikroskopische Beschaffenches（Rauheitsparameter，geometrische Parameter，Defekte）is jedoch von greßer Bedeutung für die Lebensdauer industrieller Produkte.因此，这是etwa bei Motoren das Volumen von Schmiertaschen der Zylinderinnenfläche eine Kenngröße für deren Verschleißverhalten und damit von greßer Wichtigkeit。因此，这是微光度法检验产品质量的一种方法。B。在光学测量技术的帮助下，解决了这一问题，即在拉格仪器中，制作和制作一个韦尔登的组合传感器系统。在SFB 514的Teilprojekt A5项目中，我们将介绍两种用于组合的测量方法：一种是基于特殊项目的测量方法的测量方法，另一种是基于特殊项目的测量方法。这两个原理韦尔登是为了提高测量精度而设计的，因为它是最好的测量方法：显微光度测量法用于测量微透镜，显微光度测量法用于测量小透镜。在传感器系统内部，定位传感器内部的位置。一个完整的测量系统的复杂的Ablauf可以在一开始就得到解决。