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マイクロファブリペロー干渉計を利用した分光内視鏡による生体微小領域計測

使用微型法布里-珀罗干涉仪使用光谱内窥镜进行生物微区域测量

基本信息

批准号：
05J10542
负责人：
土肥徹次
金额：
$ 1.41万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2005
资助国家：
日本
起止时间：
2005 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

平成18年度は,平成17年度に引き続いて分光内視鏡の光フィルタとなるマイクロファブリペロー干渉計の特性向上を行った.平成17年度に試作したファブリペロー干渉計は,ミラー面の平坦度が低く,さらにミラー間隔を静電気力により狭める方法で駆動していたため,広い波長範囲での分光を行うことができなかった.そこで,高い平坦度を持ち,広い範囲で間隔制御を可能とするために,シリコン結晶面の高い平坦度を利用したナノ段差構造をSOI(Silicon On Insulator)上に作成し,この段差構造をシリコンへ接合する手法によってファブリペロー干渉計の製作を試みた.ナノ段差構造は,TMAHによる結晶異方性エッチングを利用し,平坦度が高い段差を試作した.試作した500nmの段差構造を含む形で可動ミラー構造と固定ミラー構造を試作し、可動ミラー構造部分のチップをスタンプ転写方法によって固定ミラー部分へと転写する.転写後の構造は,シリコンフュージョンボンディングを利用することで可動段差構造を保持した状態で接合が可能となる.この手法によって,シリコン直接接合を利用し,水素結合によって接合するため,段差構造部分では接合力が発生せず,広い可動平面ギャップが実現可能となった.この手法により,800〜900nmのギャップを持つ直径500μmのマイクロファブリペロー干渉計を実現した.

In 2018, Heisei 17, the characteristics of spectroscope were improved. In 2017, the test results showed that the flatness of the surface was low, and the electrostatic force was narrow. In this case, the flatness of the crystal plane can be controlled by using the step difference structure on SOI(Silicon On Insulator). TMAH crystal anisotropy is used to make high and medium step difference in flatness. Try to make a step difference structure of 500nm, including a movable structure and a fixed structure. Try to make a step difference structure of 500 nm, try to make a step difference structure of 500 nm. Try to make a step difference structure of 500 nm. After writing, the structure of the movable segment is kept in the state of joint. The method of direct bonding, water element bonding, step difference structure part bonding force generation, movable plane bonding, can be realized. This technique is used to measure the thickness of the film from 800 nm to 900nm, and the diameter of the film is 500μm.