Piezoelektrische Hochtemperaturmaterialien: Langasit und isomorphe Verbindungen

压电高温材料：硅锰矿及同象化合物

• 批准号: 5348229
• 负责人: Professor Dr. Leonhard Michael Reindl
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2007-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5348229?language=en
• 关键词: Piezoelektrische; Hochtemperaturmaterialien; Langasit; und; isomorphe

Herkömmliche piezoelektrische Materialien wie a-Quarz oder Lithiumniobat sind lediglich bei Temperaturen unterhalb von 450°C einsetzbar. Folglich ergeben sich erhebliche Einschränkungen beim Hochtemperatureinsatz von piezoelektrischen Sensoren und Aktoren. Seit kurzem verfügbare piezoelektrische Materialien wie Langasit (La3Ga5SiO14) und isomorphe Verbindungen zeigen bis zum Schmelzpunkt von ca. 1470°C keine Phasenumwandlungen und ermöglichen demzufolge neue Anwendungen als Nanowaage zur In-situ-Schichtdickenbestimmung bei CVD-Prozessen bzw. zur Thermogravimetrie an dünnen Schichten und als Gassensor. Gegenwärtig sind keine detaillierten Informationen zur Stabilität von Langasit bei hohen Temperaturen und verschiedenen Atmosphären verfügbar. Ziel des Forschungsvorhabens ist daher die Aufklärung und Modellierung der atomaren Transportmechanismen in Langasit. Auf der Grundlage von Leitfähigkeitsmessungen als Funktion von der Temperatur und vom Sauerstoffpartialdruck sollen die Einsatzgrenzen aufgezeigt und Verbesserungen der wesentlichen Hochtemperatureigenschaften wie einer geringen Dämpfung und einer umgebungsunabhängigen Resonatormasse durch geeignete Dotierungen und/oder den Einsatz von isomorphen Verbindungen (z.B. La3,Ga5,5Nb0,5O14) erzielt werden. Ein weiterer Schwerpunkt des Forschungsvorhabens ist die Bestimmung der akustischen Eigenschaften der Resonatormaterialien bei hohen Temperaturen.

Lithiumniobat Sind lediglich be Temperaturen Unterhalb von 450°C einsetzbar.他说：“我不知道你是怎么做的。”Seit Kurzem Verfügbaar压电材料(La3Ga5SiO14)和同质异构体Verbindungen zeigen zeigen bis zum Schmelzpenkt von约1470°C keine Phasumwandlugen und ermöglichen demzufolge Neue Anwendungen ALS Nanowaage zur-SchichtdickenbenbstimmunbeCVD-Prozessen bzw.zur热重分析dünnen Schichten和ALS气体传感器。他说：“这是一项非常重要的工作，因为它提供了更多的信息。在兰加西特，Zil des Forschungsvorhabens和Daher die Aufklärung and Modellierung der ATOM运输机械师。这是一种与温度和速度有关的函数，但不同的是，它们的结构也不同，它们的结构和结构也不同。在谐振器材料的温度下，我们需要估计时间和时间。