ナノトポグラフィー制御による超平滑加工面の均一性向上

通过纳米形貌控制提高超光滑加工表面的均匀性

• 批准号: 17760098
• 负责人: 吉原 信人
• 金额: $ 2.24万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17760098/
• 关键词: ナノトポグラフィー; うねり; 均一性; 超精密研削; 非球面レンズ; ゴム砥石; 振動

研削面の最大高さ粗さが数十nmと良好になると,これまで粗さの中に埋もれていた微小な振幅のうねりが顕著になる.このうねりをナノトポグラフィーと名付けた.ナノトポグラフィーは形状精度と研削面粗さには大きな影響を与えない.しかし研削模様として目視が可能となる.そのため超精密研削により高い形状精度と平滑さを有する研削面が得られた場合であっても,ナノトポグラフィーが研削面上に存在すると,品位が劣るため不良品として扱われる.このナノトポグラフィーの原因は主に砥石アンバランスに起因する砥石・工作物間の相対振動であることが明らかになっている.この振動を吸収するためにゴムをボンド剤とするゴム砥石を新たに開発した.このゴム砥石を使用することにより,ナノトポグラフィーを抑制することに成功した.しかしゴム砥石は変形し易いため,高い形状精度を得ることが難しい.そこでゴム砥石の弾性変形を考慮した新たな砥石送り軌跡算出プログラムを作成した.またゴム砥石のドレッシングに応用することも可能な,レーザコンディショニング法を提案し,装置の開発を行った.これまでの結論を以下に記す.1.ゴム砥石を開発し,ナノトポグラフィーを抑制した均一な表面の研削加工を実現した.2.研削中に発生するゴム砥石の弾性変形を考慮した砥石送り軌跡算出プログラムを作成した.3.ゴム砥石へ適用することが可能なドレッシング法を開発した.このように,本研究の目的である超精密研削面の均一性向上は達せられた.

The maximum height of the grinding surface is several tens of nanometers, the thickness is good, the thickness is rough, the thickness is medium, and the thickness is micro.小なAMPLITUDE のうねりが顕出になる.このうねりをナノトポグラフィーと名发けた.ナノトポグラフィーは Shape accuracy and grinding surface roughness さには大きな Effect を and えない.しかし Grinding mold 様としThe visual inspection is possible and the ultra-precision grinding has high shape accuracy and smooth grinding surface. It's a good thing when it's a good thing, it's a good quality when it's on the grinding surface, it's a good thingためDefective product として扱われる． The cause of the vibration is the contact between the grinding stone and the workpiece. The vibration is absorbed.するためにゴムをボンド剤とするゴム砥石を新たに开発した.このゴム砥石を用するこIt's a success It is difficult to achieve high shape accuracy. Calculate the track of the stone and calculate the trajectory of the stone.ともpossibleな,レーザコンディショニング法をproposalし,Deviceの开発を行った.これまでのThe conclusion is as follows. 1. The surface of the stone is opened and the surface is suppressed and the surface is uniform The grinding process is completed. 2. During the grinding process, the grinding stone is produced and the shape of the grinding stone is considered. The grinding stone is sent. Trajectory calculation method The purpose of this study is to improve the uniformity of ultra-precision grinding surfaces.

项目成果

Development of Dresser for Resin Bonded Diamond Wheel

树脂金刚石砂轮修整器的研制

• 发表时间: 2007
• 期刊: Key Engineering Materials 329
• 作者: 來海博央;他3名;來海博央;來海博央;Nobuhito Yoshihara et al.;Hiroshi Matsuura et al.
• 通讯作者: Hiroshi Matsuura et al.

New Compensation Grinding of Axisymmetric Aspherical Lenses with High NA Value

高NA值轴对称非球面透镜的新型补偿磨削

• 发表时间: 2005
• 期刊: Proceedings of the 3rd International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century 291-292
• 作者: 來海博央;他3名;來海博央;來海博央;Nobuhito Yoshihara et al.;Hiroshi Matsuura et al.;Nobuhito Yoshihara et al.;Nobuhito Yoshihara et al.
• 通讯作者: Nobuhito Yoshihara et al.

Development of Rubber Bonded Grinding Wheel -Studies on Aspherical Grindinng-

橡胶结合剂砂轮的开发-非球面磨削的研究-

• 发表时间: 2007
• 期刊: Key Engineering Materials 329
• 作者: 來海博央;他3名;來海博央;來海博央;Nobuhito Yoshihara et al.
• 通讯作者: Nobuhito Yoshihara et al.