STUDY ON PRECISE TEMPERATURE CONTROL TECHNOLOGY
STUDY ON PRECISE TEMPERATURE CONTROL TECHNOLOGY
精密温控技术研究
批准号：
18560199
负责人：
HIRASAWA Shigeki
金额：
$2.29万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
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英文摘要
電子線描画装置の高精度温度制御をモデルにして, 外乱温度変動の1%以下(外乱温度変動0.1℃の環境にて対象物の温度変動を0.001℃以下)にするための制御方法を数値解析と実験で検討した。解析的な検討により, ステップ応答モデルを使ったモデル予測制御法により外乱温度変動の0.1%にできることを示した。また, ふく射加熱による温度上昇速度の制御も検討した。検討結果をまとめて, 制御対象に応じた最適制御条件や, 制御の限界を明らかにした。
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S., Analytical Study of Thermal Control Method to Minimize Temperature Change of a Plate with Changing Heat Generation
S.，随着热量产生的变化而最小化板件温度变化的热控制方法的分析研究
S.，随着热量产生的变化而最小化板件温度变化的热控制方法的分析研究
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirasawa, S., Ito, S.]
通讯作者：
S.
ランプ急速熱処理装置における昇温速度の高精度制御方法の検討
灯管快速热处理设备升温速率高精度控制方法研究
灯管快速热处理设备升温速率高精度控制方法研究
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
日本機械学会論文集, B編 74巻
影响因子：
--
作者：
[平澤茂樹, 戸田禎孝]
通讯作者：
戸田禎孝
発熱変動ある平板の温度変化を最小にする熱制御技術の検討
研究热控制技术，最大限度地减少因发热波动而引起的平板温度变化
研究热控制技术，最大限度地减少因发热波动而引起的平板温度变化
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[平澤茂樹, 伊藤心也]
通讯作者：
伊藤心也
Optimum Heating Control Method to Keep a Given TemperatureRising Speed of a Plate during Rapid Thermal Processing2008ASME
快速热处理过程中保持板材给定升温速度的最佳加热控制方法2008ASME
快速热处理过程中保持板材给定升温速度的最佳加热控制方法2008ASME
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Hirasawa, S.,Toda, S.]
通讯作者：
S.
Analytical Study of Thermal Control Method to Minimize Temperature Change of a Plate with Changing Heat Generation
随发热变化使板件温度变化最小化的热控制方法分析研究
随发热变化使板件温度变化最小化的热控制方法分析研究
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Shigeki Hirasawa, Shinya Ito]
通讯作者：
Shinya Ito
共 9 条
STUDY ON HIGH PERFORMANCE HEAT TRANSFER ANDHEAT TRANSPORT WITH LESS ENERGY USING THIN FILM EVAPORATION HEAT TRANSFER PHENOMENA
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批准号：22560199
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.75万
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财政年份：2010
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负责人：HIRASAWA Shigeki
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依托单位：
海外基金