Yield optimum layout generation under optical proximity effect
Yield optimum layout generation under optical proximity effect
在光学邻近效应下生成最佳布局
批准号：
18560327
负责人：
IKEDA Makoto
金额：
$2.58万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
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英文摘要
集積回路の製造において用いられる微細なパターンの光転写において不可避となっている光学近接効果補正に対して、本研究では、設計パターンと製造されるパターンから逆問題を解くことにより補正を実施する手法の検討、パターン転写による製造不良を削減可能であることを示した。さらに、転写におけるばらつきがディジタル設計向けのセルにおける遅延、リークに与える影響の検討を行い、光学近接効果を考慮した場合のセルレイアウトの最適化によりセルのリーク電力低減に効果的であることを示した。
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A Temperature Sensor With an Inaccuracy of-1/+0.8℃ Using 90-nm 1-V CMOS for Online Thermal Monitoring of VLSI Circuits
使用 90 nm 1-V CMOS 实现 VLSI 电路在线热监测的温度传感器，精度为 -1/+0.8℃
使用 90 nm 1-V CMOS 实现 VLSI 电路在线热监测的温度传感器，精度为 -1/+0.8℃
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Vol.21
影响因子：
--
作者：
[M. Sasaki, M. Ikeda and K. Aasada]
通讯作者：
M. Ikeda and K. Aasada
Circuit Design using Stripe
使用 Stripe 进行电路设计
使用 Stripe 进行电路设计
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Ikai, J. Kim, M. Ikeda, and K. Asada]
通讯作者：
and K. Asada
A Temperature Sensor With an Inaccuracy of -1/+0.8℃ Using 90-nm 1-V CMOS for Online Thermal Monitoring of VLSI Circuits
使用 90-nm 1-V CMOS 实现 VLSI 电路在线热监控的精度为 -1/+0.8℃ 的温度传感器
使用 90-nm 1-V CMOS 实现 VLSI 电路在线热监控的精度为 -1/+0.8℃ 的温度传感器
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufact uring 21
影响因子：
--
作者：
[M. Sasaki, M. Ikeda and K. Aasada, M. Sasaki M. Ikeda and K. Aasada]
通讯作者：
M. Sasaki M. Ikeda and K. Aasada
40 Frames/sec 16x16 Temperature Probe Array using 90nm 1V CMOS for On line Thermal Monitoring on VLSI Chip
使用 90nm 1V CMOS 的 40 帧/秒 16x16 温度探头阵列，用于 VLSI 芯片上的在线热监控
使用 90nm 1V CMOS 的 40 帧/秒 16x16 温度探头阵列，用于 VLSI 芯片上的在线热监控
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M. Sasaki, T. Inoue, M. Ikeda and K.Asada]
通讯作者：
M. Ikeda and K.Asada
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[J. Kim J. Kim, K. Ikai, T. Nakura, M. Ikeda, K. Asada]
通讯作者：
K. Asada
共 15 条
Stochastic Routing Method for Wireless Mesh Networks Considering Heterogeneous Environments
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批准号：23700089
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.41万
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财政年份：2011
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负责人：IKEDA Makoto
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依托单位：
High-speed, Accurate 3D range finding system tolerant against ambient illumination
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批准号：23360147
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$12.4万
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财政年份：2011
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负责人：IKEDA Makoto
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依托单位：
Basic Modeling of artificial society by multi-agent simulation
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批准号：21530665
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.75万
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财政年份：2009
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负责人：IKEDA Makoto
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依托单位：
A study of multiplex hierarchy type' model on earth environment by system dynamics (Glocal-model)
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批准号：13680533
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$1.79万
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财政年份：2001
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负责人：IKEDA Makoto
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依托单位：
海外基金