その場校正差動レーザオートコリメーション法二次元形状測定機の開発研究

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平成19年度は,昨年度研究成果を元に、本研究の目標値である角度分解能:1×10^<-8>radを達成するためにレーザオートコリメーションのセンサーについて検討を行い、現在採用している4分割フォトダイオード方式ではフォトダイオードを分離している部分の影響により達成が非常に困難であるため,新たな角度検出法について調査,検討を行い,これまで組立調整が非常に困難であった臨界角法の問題点を解決できる検出方式を考案し,基本特性の詳細検討を行うとともに,開発に着手し,下記の2項目について研究を行った.(1)新たな角度検出方法のセンサーの開発・角度校正工具の製作を完了し、昨年度購入した電気マイクロメータ,本年度購入した光電式オートコリメータを用いて基本特性の評価を行い、0.5×10^<-5>rad以下でメカニカルに駆動できることを確認した。・臨界角を利用した角度検出方式を採用し、センサーと被測定面の間隔の変動による影響を受け無いようにするとともに、組立調整が比較的容易にできる光学系とした。角度分解能目標値が達成できるかを計算により確認し、光学素子、アンプ関連を購入し、機能確認のプロトタイプの試作に着手した。(2)角度センサー間の形状補間方法の検討差動レーザオートコリメーション法は、2台の角度センサー間隔のピッチで逐次形状を測定しているため,測定ピッチ間の形状は測定できない問題点があり、補間方法について検討を行い、計算機シミュレーションにより有効性を確認した。これについて、本研究の成果報告を平成20年度に発表予定である。