微小レーザ分子注入重合技術と微小電気機械用Si系ナノ線材の評価手法に関する研究

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マイクロラマン分光法を用いて固液界面物理化学反応や物質移動・相互作用等ナノ秒パルスレーザー分子注入プロセスのメカズムを解明するとともに、その知見を元に極小化最適注入プロセス条件を確立し、有機エレクトロルミネセンス分子を用いてITO/誘電体複合層ヘレーザー注入することにより次世代フルカラー有機系薄膜発光ダイオードデバイスの開発をめざし、その結果、マイクロ・ナノレーザー分子注入法を応用して導伝性膜基板や絶縁性膜基板に有機分子を極性および非極性液体層を介して高精度にマイクロ・ナノパターニング制御する技術を確立し、高分解能を有するRGB柔構造性デバイスの開発を試み、ペリレン、クマリン6,DCM2をドーパントにするべく熱蒸発法により作成したソ-ス膜を介してA1q3系ターゲット基板に分子注入してIV特性やEL特性を測定し、それぞれ青色、緑色および赤色の発光特性の発現に成功するとともに、さらに、傾斜角度成膜法により作成したアナターゼ系結晶性TiO2ナノワイヤーロッド集積層にレーザー分子注入することにより高効率太陽電池作成基板技術を確立することができた。また、SiナノワイヤーならびにTiO2ナノワイヤーを金を蒸着したITO基板上やATO基板上、ならびにアルミニウム酸化膜中の微細孔内にCVD法で作成することを試み、各フォトルミネセンス特性や電気的特性を評価することによって最適作成条件を確立することができるとともに、さらに、フェムト秒レーザーを用いて種々の基板上にナノワイヤーを接合固定することを試み、4端子法によりIV特性を、また、試作した微小材料引張り試験器により強度特性をそれぞれ評価することができた。