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2光子吸収微細造形を用いる三次元空間に配列された金属微細構造の作製

利用双光子吸收微加工制造三维空间排列的金属微结构

基本信息

批准号：
18710107
负责人：
武安伸幸
金额：
$ 2.18万
依托单位：
The Institute of Physical and Chemical Research
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

项目摘要

光硬化性樹脂にフェムト秒レーザーを集光すると光強度の高い焦点でのみ2光子吸収が起こり,硬化スポットが得られる.その焦点を3次元走査するとナノ/ミクロンスケールで任意形状の3次元ポリマー構造体を作製できる.3次元ポリマー構造体に無電解めっき法により金属をコーティングすると3次元金属構造体が得られる.無電解めっき法による金属コーティングは下地の化学的性質に大きく依存し,一般に無電解めっき法でポリマーへ金属をコートするためにはスズやパラジウムなどで前処理を行う必要がある.昨年度,めっき前処理が不要な金属の付着し易い樹脂として市販の光硬化性樹脂にメタアクリルアミドを混ぜた改質樹脂を開発した.また,それを従来樹脂と併用することによって選択的に改質樹脂のみが金属でコートされることを確認した.本年度は,照射レーザー条件を最適化し,本手法により3次元金属/ポリマーハイブリッド微細構造を作製した.造形用光源には波長796nm,パルス幅140fs,平均出力1.4W,繰返し1kHzのチタンサファイアレーザー(再生増幅器)を用いた.アッテネータを用いて造形に適当な出力としたレーザーをマイクロレンズアレイを用いてマルチスポットを創製し,対物レンズにより光硬化性樹脂中へ集光した.従来樹脂および改質樹脂を用いて3次元ポリマー構造を作製し,洗浄後,硝酸銀水溶液中に数時間浸した。サンプルを洗浄し,アンモニア性硝酸銀水溶液中に浸し,還元剤としてグルコース水溶液を加えた.洗浄・乾燥後,走査型電子顕微鏡により観察した.その結果,改質樹脂部分のみが銀でコーティングされた3次元銀/ポリマー構造体を確認できた.その最小金属線幅は約300nmであった.以上から,本手法によりサブミクロンの分解能で3次元金属/ポリマーハイブリッド構造を作製できることが示せた.

Photocurable resin: light concentration, light intensity, focal point, photon absorption, curing, etc. 3D structures of arbitrary shapes are manufactured by focusing on 3D structures. 3D structures are manufactured by electrolysis-free methods. 3D metal structures are manufactured by 3D metal structures. Electroless method is a method for metal to be treated before it is necessary because it depends on the chemical properties of the metal. Last year, the pre-treatment of non-metal-based resin and the development of light-curable resin mixed with modified resin. For example, if you want to use a modified resin, you can use a modified resin. This year, the irradiation conditions are optimized, and the method is used to control the microstructure of the three-dimensional metal/polymer. The wavelength of the light source for shaping is 796nm, the amplitude is 140fs, the average output is 1.4 W, and the return frequency is 1kHz. The light is collected in the photocurable resin. After washing, the modified resin was immersed in silver nitrate aqueous solution for several times. Immersion in aqueous silver nitrate solution; addition of aqueous silver nitrate solution. After washing and drying, the sample was examined by a walk-through electron microscope. As a result, the modified resin part was confirmed to be a three-dimensional silver/polymer structure. The smallest metal amplitude is about 300nm. The above, this method for the decomposition of the three dimensional metal/polymer structure for the production of.