マイクロ-ナノインプリント紛体成形法の開発

微纳米压印粉末成型方法的开发

• 批准号: 18760097
• 负责人: 津守 不二夫
• 金额: $ 2.3万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18760097/
• 关键词: ナノインプリンド; 粉体成形; 微細加工; 成形解析; 磁性粒子; ナノインプリント; 光硬化性樹脂

今年度の成果は主に以下の2点である.(1)ナノインプリントを利用した微細鋳型の作製と樹脂中への粒子材料の分散(2)柱状構造をアレイ状に配置した弾性樹脂内部に磁性粒子を分散させた構造を用いての,マイクロ可動構造の作製前者は,インプリント技術を応用した微粒子材料を樹脂構造内に含める技術の開発である.当初の予定では,粉末微粒子を分散させた樹脂を直接利用し,モールドを利用した転写パターンを得ることを考えていたが.成形中に欠陥が生じた場合モールド凹部に残った部位の除去が困難であった.そのため,シリコンモールドを利用し,PMMAで犠牲型を作製,その後この犠牲型に粉末を分散させた樹脂を鋳込むことで構造を得ることができた.後者は機能性構造体作製の例である.粘性樹脂中に磁性粒子を分散させた材料を微細パターンに転写する.樹脂を硬化し型から取り出すことにより磁場により動的にパターンを変化させる機能性微細構造を作製することができた.粒子の充填には磁場や遠心分離機を利用することにより樹脂中で特徴的な配置を行うことが可能であった.また,このデバイスの挙動解析システムを作成した.ナノインプリントによる微細化でシングルマイクロスケールの作製に関する研究を行った.今後,ナノレベルでの構造に発展させる計画である.

Under our の results は main に の 2 で あ る. (1) ナ ノ イ ン プ リ ン ト を using し た と resin in the subtle type where の cropping へ の の dispersed particle materials (2) the columnar structure を ア レ イ shape に configuration し た 弾 internal を に magnetic particles dispersed resin さ せ を た structure with い て の, マ イ ク ロ moving tectonic system of the former は の, イ ン プ リ ン を ト technology Youdaoplaceholder0 is developed by using た た micro-particle material を resin to construct に containing める technology <e:1>. Original の designated で は, powder particles scattered を さ せ た resin directly using し を, モ ー ル ド を using し た planning write パ タ ー ン を must る こ と を exam え て い た が. Born in forming に owe 陥 が じ た occasions モ ー ル ド notch に residual っ の た parts difficult to remove が で あ っ た. そ の た め, シ リ コ ン モ ー ル ド を using し, PMMA で bloods を cropping, そ の after こ の bloods type に powder scattered を さ せ た resin を where 込 む こ と で tectonic を have る こ と が で き た. The latter is a functional structure for the production of <s:1> examples である. In viscous resins, に magnetic particles を disperse させた materials を fine パタ <s:1> <s:1> に転 に転 write する. Type resin を hardening し か ら take り out す こ と に よ り magnetic に よ り moving に パ タ ー ン を variations change さ せ る functional fine structure を cropping す る こ と が で き た. Particle の filling に は magnetic separator を use や far heart す る こ と に よ で in り resin 徴 な configuration line を う こ と が may で あ っ た. ま た, こ の デ バ イ ス の 挙 dynamic analytic シ ス テ ム を made し た. ナ ノ イ ン プ リ ン ト に よ る ultra-micronization model.the で シ ン グ ル マ イ ク ロ ス ケ ー ル の cropping に masato す る を line っ た. In the future,ナノレベ で で で ナノレベ will construct に to develop させる plans である.

项目成果

温度制御半固形モールド粉体成形法によるセラミックス微小複雑構造体の作製

温控半固态粉末成型法制备复杂陶瓷微结构

• 发表时间: 2006
• 期刊: 粉体および粉末冶金 53-11
• 作者: 津守不二夫;池内俊介
• 通讯作者: 池内俊介

Micro Fabrication Process of Powder Compact with Semi-solid Mold

半固态粉末压坯的微加工工艺

• 发表时间: 2007
• 期刊: Materials Science Forum 534-536
• 作者: 釜田康裕;帯川利之;R. Matsumoto;松本 良;Fujio Tsumori
• 通讯作者: Fujio Tsumori

磁性粒子を利用した超微細可動構造

使用磁性粒子的超微细可动结构

• 发表时间: 2007
• 作者: 津守不二夫;宮野公樹;小寺秀俊
• 通讯作者: 小寺秀俊