マイクロ-ナノインプリント紛体成形法の開発

今年度の成果は主に以下の2点である.(1)ナノインプリントを利用した微細鋳型の作製と樹脂中への粒子材料の分散(2)柱状構造をアレイ状に配置した弾性樹脂内部に磁性粒子を分散させた構造を用いての,マイクロ可動構造の作製前者は,インプリント技術を応用した微粒子材料を樹脂構造内に含める技術の開発である.当初の予定では,粉末微粒子を分散させた樹脂を直接利用し,モールドを利用した転写パターンを得ることを考えていたが.成形中に欠陥が生じた場合モールド凹部に残った部位の除去が困難であった.そのため,シリコンモールドを利用し,PMMAで犠牲型を作製,その後この犠牲型に粉末を分散させた樹脂を鋳込むことで構造を得ることができた.後者は機能性構造体作製の例である.粘性樹脂中に磁性粒子を分散させた材料を微細パターンに転写する.樹脂を硬化し型から取り出すことにより磁場により動的にパターンを変化させる機能性微細構造を作製することができた.粒子の充填には磁場や遠心分離機を利用することにより樹脂中で特徴的な配置を行うことが可能であった.また,このデバイスの挙動解析システムを作成した.ナノインプリントによる微細化でシングルマイクロスケールの作製に関する研究を行った.今後,ナノレベルでの構造に発展させる計画である.

今年度の成果は主に以下の2点である.(1)ナノインプリントを利用した微細鋳型の作製と樹脂中への粒子材料の分散(2)柱状構造をアレイ状に配置した弾性樹脂内部に磁性粒子を分散させた構造を用いての,マイクロ可動構造の作製前者は,インプリント技術を応用した微粒子材料を樹脂構造内に含める技術の開発である.当初の予定では,粉末微粒子を分散させた樹脂を直接利用し,モールドを利用した転写パターンを得ることを考えていたが.成形中に欠陥が生じた場合モールド凹部に残った部位の除去が困難であった.そのため,シリコンモールドを利用し,PMMAで犠牲型を作製,その後この犠牲型に粉末を分散させた樹脂を鋳込むことで構造を得ることができた.後者は機能性構造体作製の例である.粘性樹脂中に磁性粒子を分散させた材料を微細パターンに転写する.樹脂を硬化し型から取り出すことにより磁場により動的にパターンを変化させる機能性微細構造を作製することができた.粒子の充填には磁場や遠心分離機を利用することにより樹脂中で特徴的な配置を行うことが可能であった.また,このデバイスの挙動解析システムを作成した.ナノインプリントによる微細化でシングルマイクロスケールの作製に関する研究を行った.今後,ナノレベルでの構造に発展させる計画である.