ゲル構造ER流体を応用したマイクロ加工用フィクスチュアデバイスの開発

使用凝胶结构ER流体的微细加工夹具装置的开发

基本信息

  • 批准号：
    18760104
  • 负责人：
    柿沼 康弘
  • 金额：
    $ 2.3万
  • 依托单位：
    Keio University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 财政年份：
    2006
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2006 至 2007
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

研究目的本研究では,片側電極を適用したERGをマイクロ切削加工用の固定機構に適用することで,電気的に固定力とアライメントを同時に調整可能なフイクスチュアデバイスを開発することを目的とした.本研究は2年間の計画で遂行され,平成19年度の計画としては,(1)最適片側電極を適用したマイクアライメント調整機能付きERGフイクスチュアの製作(2)ERGフイクスチュアの固定力とアライメントの同時制御および切削加工実験による性能評価(3)真空環境下におけるERGフイクスチュアデバイスの固定特性解析を掲げた.研究成果(1)に関して,対向材料を絶縁体とした条件で,有限要素法によりERゲル内の電界分布を解析し,得られる電界強度が最大となる片側電極形状を明らかにした.最適電極形状を適用したERGフイクスチュアは,従来の電極形状を適用した場合に比べ,固定力が1.5倍増加することを確認した.(2)に関して,田の宇型ERGフイクスチュアデバイスを開発し,これをマシニングセンクに組み込みガラスのマイクロ切削加工試験を行った.ERGフイクスチュアによりガラス材料は十分に固定され,同時に印加する電界を調節することで,ガラス材料のアライメントを調整可能であることを確認した.R0.5mnのボールエンドミルによりガラス材に溝加工を行った結果,加工開始点から終点まで幅一定の溝を形成することに成功した.(3)に関して,ERGは高真空環境下でも粘着効果を発生することを確認した.ウェハの真空搬送に応用可能であることを示唆した.学会発表等の研究実績本研究により得られた成果は学術論文4編,国際学会1件,国内学会1件で発表した.
Research purpose of this study で は, piece side を electrode is し た ERG を マ イ ク ロ machining with の institutions に applicable す る こ と で, electric 気 に fixed force と ア ラ イ メ ン ト を に adjustment at the same time may な フ イ ク ス チ ュ ア デ バ イ ス を open 発 す る こ と を purpose と し た. の は 2 years project で this study carries out さ れ, pp.47-53 19th annual の plan と し て は, (1) the optimal piece side を electrode is し た マ イ ク ア ラ イ メ ン ト adjustment function to pay き ERG フ イ ク ス チ ュ ア の production (2) ERG フ イ ク ス チ ュ ア の fixed force と ア ラ イ メ ン ト の and suppression お よ び machining be 験 に よ る performance evaluation 価 (3) Analysis of the fixed characteristics of におけるERGフ スチュアデバ スチュアデバ ス in a vacuum environment を release げた. Research results (1) に masato し て, を never try to material body seaborne と し で た condition, finite element method に よ り ER ゲ ル を の electricity industry distribution in parsing し, too ら れ が る electricity industry strength biggest と な る piece side electrode shape を Ming ら か に し た. Optimum shape を electrode is し た ERG フ イ ク ス チ ュ ア は, 従 to の shape を electrode is し に た occasion than べ, fixed force が 1.5 times raised plus す る こ と を confirm し た. (2) に masato し て, field type の yu ERG フ イ ク ス チ ュ ア デ バ イ ス を open 発 し, こ れ を マ シ ニ ン グ セ ン ク に group み 込 み ガ ラ ス の マ イ ク ロ machining Test line を っ た. ERG フ イ ク ス チ ュ ア に よ り ガ ラ ス material は very に fixed さ れ, at the same time に Inca す る electricity industry を adjust す る こ と で, ガ ラ ス material の ア ラ イ メ ン ト を adjustment would で あ る こ と を confirm し た. R0.5 mn の ボ ー ル エ ン ド ミ ル に よ り ガ ラ ス material に groove machining line を っ た as a result, the machining point か ら End ま で picture must の ditch を forming す る こ と に successful し た. (3) に masato し て, ERG は high vacuum environment で も unseen sticky fruit を 発 raw す る こ と を confirm し た. ウ ェ ハ の vacuum handling に 応 may use で あ る こ と を in stopping し た. The research achievements of this study are as follows: によ られた obtained られた results によ four academic papers, one from an international society and one from a domestic society で published records た.

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
RGを適用した直動型力伝達素子における最適電極設計
使用 RG 的直接作用力传输元件的优化电极设计
Application of ERG with One-sided Pattern Electrodes to Micro Alignment and Fixture Devices
具有单面图案电极的ERG在微对准和夹具装置中的应用
Application of the Electro-rheological Gel to Fixture Devices for Micro Milling Processes
ERゲルに対する片側構造電極の適用とその性能評価(第二報)
单面结构电极在ER凝胶中的应用及其性能评价（第二报告）
  • DOI：
  • 发表时间：
    2007
  • 期刊：
    精密工学会誌 73・7
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    柿沼 康弘;青山 藤詞郎;安齊 秀伸;田中 克敏
  • 通讯作者：
    田中 克敏
The influences of the material and geometrical properties of sliding plate on ER effect of Gel-structured ERF
滑板材料和几何特性对凝胶结构ERF电流变效应的影响
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化学反応誘起スラリー援用研削におけるCeO2粒子付着の安定化と形状制御
化学反应诱导浆料辅助研磨中 CeO2 颗粒粘附的稳定和形状控制
  • 批准号：
    23H01318
  • 财政年份：
    2023
  • 资助金额：
    $ 2.3万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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