CARS temperature measurement in diamond film forming flames and elucidation of growth mechanism of diamond films
金刚石成膜火焰中的CARS温度测量及金刚石薄膜生长机理的阐明
基本信息
- 批准号:18760156
- 负责人:
- 金额:$ 2.03万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2008
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
燃焼炎法によるダイヤモンド薄膜の合成において,合成場の温度分布測定をレーザを用いた燃焼診断装置を使用して行った結果,計算で求めた温度分布とは差異があることが分かった.基板表面温度によりダイヤモンド薄膜の結晶状態は変化することが分かり,化学種濃度計算の比較からは,ダイヤモンドの先駆物質となる化学種は単一のものではなく,基板表面温度によって変化する可能性を見出した.
The combustion method is used to measure the temperature distribution of the composite field. The combustion diagnostic device is used to calculate the temperature distribution and difference. The crystal state of the thin film changes with the substrate surface temperature, and the chemical species concentration calculation is compared. The chemical species concentration of the thin film changes with the substrate surface temperature.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
ダイヤモンド薄膜の燃焼合成における窒素添加の影響
氮添加对金刚石薄膜燃烧合成的影响
- DOI:
- 发表时间:2007
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Masahito Shintomi;Atsushi Makino;Nobuyuki Araki;Masahito Shintomi;笹目健太,新冨雅仁,牧野敦,荒木信幸
- 通讯作者:笹目健太,新冨雅仁,牧野敦,荒木信幸
Map of growth rate of diamond film synthesized by use of flame CVD
火焰CVD合成金刚石薄膜的生长速率图
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:小島 洋子;川畑 拓也;森治 代;大竹 徹;大國 剛;宮本 和範;宮本 和範;Masahito Shintomi
- 通讯作者:Masahito Shintomi
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相似海外基金
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牙科旋转切削刀具上金刚石薄膜的燃烧火焰法合成及其性能评价
- 批准号:
18760073 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 2.03万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)