Development of time-resolved X-ray reflectometory for real-time studies of structural changes of thin films

开发用于实时研究薄膜结构变化的时间分辨 X 射线反射仪

• 批准号: 19360023
• 负责人: MATSUSHITA Tadashi
• 金额: $ 11.81万
• 依托单位: High Energy Accelerator Research Organization
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360023/
• 关键词: ビーム応用; 時分割測定; 鏡面X線反射率; 多波長同時分散; 薄膜; 構造変化; 彎曲結晶ポリクロメーター

測定中に機械的運動を何ら必要とせずに鏡面X線反射率曲線プロファイル全体を同時に測定し、サブ秒~ミリ秒の時分割測定を可能とする方法を開発した。これを用いシリコン基板上のアゾベンゼンを分子中にもつ光応答高分子LB膜(6Az10PVA ; 9層)を形成し、波長375nmの紫外レーザー(CW、8mW)光を照射しながらX線反射率曲線を測定したところ、紫外光照射後10分程度からX線反射率曲線に変化が現れることを観測できた。また、液体表面(エチレングリコールおよび水)からのX線反射率曲線の測定に成功し、水中に球状タンパク質分子を注入するとタンパク質分子が水面でunfoldingを起こすことによるX線反射率曲線の時間変化を観察できた。

In order to determine the operation of the machine, it is necessary to measure the reflectivity curve of the X-ray line of the plane. The whole system is used to measure the reflectivity curve at the same time, and the split-time measurement method may be used. The X-ray reflectivity curve was measured by the X-ray reflectance curve measurement of X-ray reflectivity curves irradiated by high molecular LB film (6Az10PVA; 9). The reflectivity curve of X-ray reflectivity curve was measured by X-ray reflectivity curve measurement, and the X-ray reflectivity curve was measured by X-ray reflectivity curve of 10 minutes after UV irradiation. The reflectivity curve of the X-ray reflectivity curve on the surface of the liquid has been successfully measured, and the spherical molecules in the water have been injected into the surface of the water. The reflectivity curve of the X-ray reflectivity curve has been monitored in time.

项目成果

多層膜分光光学系を用いた多波長同時分散型X線反射率計 -試作とテスト実験-

使用多层膜分光光学系统的多波长同时色散型X射线反射计 - 原型和测试实验 -

• 发表时间: 2008
• 作者: 松下正;荒川悦雄;羽多野忠;原田哲男;東保男;平野馨一
• 通讯作者: 平野馨一

quickのための装置技術 : ポリクロメーターを用いた新しい反射率測定技術

快速的设备技术：使用多色仪的新型反射率测量技术

• 发表时间: 2007
• 作者: 松下;丹羽;稲田;石井;桜井;野村;松下
• 通讯作者: 松下

Curved crystal X-ray optics for a new type of high speed, multiwavelength dispersive X-ray reflectometer

用于新型高速、多波长色散 X 射线反射计的曲面晶体 X 射线光学器件

• 发表时间: 2007
• 期刊: J. Phys.: Conf. Ser. 83
• 作者: T. Matsushita;Y. Inada;Y. Niwa;M. Ishii;K. Sakurai;M. Nomura
• 通讯作者: M. Nomura

X線鏡面反射強度曲線の時分割測定をめざした新しい測定法の開発

X射线镜面反射强度曲线时分测量新测量方法的开发

• 发表时间: 2007
• 作者: 松下;丹羽;稲田;石井;桜井;野村
• 通讯作者: 野村

X線反射率の高速測定法の開発-彎曲結晶ポリクロメーターを用いた新しい方法, Development of a high speed X-ray reflectometer- a new approach utilizing a curved crystal polychromator

高速 X 射线反射计的开发——利用曲面晶体多色仪的新方法

• 发表时间: 2007
• 作者: 松下;丹羽;稲田;石井;桜井;野村;松下;松下
• 通讯作者: 松下