Studies on the Preparation of the Thin Film of Scallop Shell Ceramics by Dry-Method and the Effects on Improvement of the Quality of Water

「高周波スパッタリング法」によりCaO 薄膜を形成し、成膜条件がその構造や形態、膜厚に及ぼす影響を検討した。その結果、スパッタ時間とともに薄膜はCa(OH)2 単一相からCaO との混合相に変化すること、高周波電源出力はほとんど影響を及ぼさないこと、基板温度が高いとCa(OH)2 のピークが消失し非晶質膜となること、などがわかった。また、1000℃で焼成した貝殻小片を模擬汚染水(60ppm-COD)中に浸漬すると、COD 値は最大50%程度まで減少することが確かめられた。

「高周波スパッタリング法」によりCaO 薄膜を形成し、成膜条件がその構造や形態、膜厚に及ぼす影響を検討した。その結果、スパッタ時間とともに薄膜はCa(OH)2 単一相からCaO との混合相に変化すること、高周波電源出力はほとんど影響を及ぼさないこと、基板温度が高いとCa(OH)2 のピークが消失し非晶質膜となること、などがわかった。また、1000℃で焼成した貝殻小片を模擬汚染水(60ppm-COD)中に浸漬すると、COD 値は最大50%程度まで減少することが確かめられた。