RESEARCH ON ADVANCED NANO-MICRO MACHINE BY EMERGENCE AND ACTUATION OF NONLINEARITY

非线性产生与驱动的先进纳微机械研究

基本信息

项目摘要

Recently, nano-micro machines are very attractive to many scientific fields and various applications are expected and investigated. In this research, dynamic control of micro-cantilever as an important mechanical element are treated. It is shown that the inherently existing nonlinearity of the nano-micro machine essentially affects the performance and based on the emergence and actuation, some nonlinear control methods are proposed for realizing high-performance micro-cantilever.
近年来,纳微机械在许多科学领域都有着广泛的应用前景。本研究针对微悬臂梁作为一种重要的机械元件,进行动态控制的研究。研究表明,纳微机械固有的非线性对性能有本质的影响,并基于其产生和驱动,提出了实现高性能微悬臂梁的非线性控制方法。

项目成果

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カンチレバー装置およびカンチレバー制御方法
悬臂装置及悬臂控制方法
  • DOI:
  • 发表时间:
    2009
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
積分制御によるvan de Pol型自励発振カンチレバー
van de Pol 型积分控制自激悬臂梁
積分制御による van der Pol 型自励発振カンチレバー
采用积分控制的 van der Pol 型自激振荡悬臂梁
ファンデルポール型自励発振方式FM-AFMによる液中観察
使用 van der Pol 自振荡法 FM-AFM 进行液中观察
  • DOI:
  • 发表时间:
    2009
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    黒田雅治;染谷貴司;藪野浩司
  • 通讯作者:
    藪野浩司
Amplitude reduction of self-excited micro-cantilever probe of atomic force microscope
原子力显微镜自激微悬臂梁探针的振幅减小
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    H. YABUNO;M. Kuroda;K. Ashida;T. Kobayashi
  • 通讯作者:
    T. Kobayashi
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