Fabrication of a near-field optical probe by electroless plating with submicron size-dependence

通过化学镀制造具有亚微米尺寸依赖性的近场光学探针

• 批准号: 19560738
• 负责人: MONONOBE Shuji
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Toyo University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560738/
• 关键词: 近接場光学; 光ファイバー; めっき; エッチング; 走査型プローブ顕微鏡; 無電解めっき; プローブ顕微鏡

We fabricated a near-field optical fiber probe based on size-dependent electroless plating under nitrogen gas atmosphere. The process consists of etching an optical fiber, by palladium coat by argon ion sputtering, electroless nickel plating. The obtained probe has an aperture with a diameter less than 40 nm.

在氮气保护下，采用尺寸依赖型化学镀技术制备了近场光纤探针。该工艺包括蚀刻光纤，通过氩离子溅射镀钯，化学镀镍。所获得的探针具有直径小于40 nm的孔径。

项目成果

近接場光ファイバープローブ作製のための超音波攪拌を伴うめっき法

超声波搅拌电镀法制造近场光纤探针

• 发表时间: 2007
• 作者: 田中宏之;冨岡祐二;物部秀二;物部 秀二
• 通讯作者: 物部 秀二

窒素ガス雰囲気下の無電解めっきによる近接場光プローブの作製

氮气气氛下化学镀近场光学探针的制作

• 发表时间: 2010
• 作者: S. Mononobe;M. Ohtsu;物部秀二
• 通讯作者: 物部秀二

Ultrasonically induced Effects in Electroless Nickel Plating to Fabricate a Near-Field Optical Fiber Probe

• DOI: 10.1143/jjap.47.4317
• 发表时间: 2008-05
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: S. Mononobe

Electroless Nickel Plating Aqueous Solution Containing Additive Ammonium Chloride to Fabricatte a Near-Field Optical Probe with a Tip Protruding from Nickel Film

含有氯化铵添加剂的化学镀镍水溶液制造尖端从镍膜中伸出的近场光学探针

• 发表时间: 2007
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics Vol.46,No.9B
• 作者: S. Mononobe;M. Ohtsu
• 通讯作者: M. Ohtsu

TRISを含む無電解ニッケルめっき溶液の光ファイバープローブへの応用

含TRIS化学镀镍液在光纤探针中的应用

• 发表时间: 2009
• 作者: 田中宏之;冨岡祐二;物部秀二
• 通讯作者: 物部秀二