The development of high permeability FeCo nanocrystalline films for GHz applications by means of acetylene mixtured gas reactive sputtering

通过乙炔混合气体反应溅射开发适用于 GHz 应用的高磁导率 FeCo 纳米晶薄膜

• 批准号: 19760214
• 负责人: LIU Xiaoxi
• 金额: $ 2.38万
• 依托单位: Shinshu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760214/
• 关键词: 軟磁性薄膜; 高周波デバイス; ナノ結晶薄膜; 飽和磁束密度; 保磁力; ナノ結晶; 透磁率; 高透磁率

無線LANやBluetoothに代表される高速、大容量通信機器の集積化、小型化および省エネルギー化のため、現在の空芯インダクタに替わって、薄膜磁芯インダクタの実用化が急務である。しかし、通常の磁性薄膜はGHz帯域では共鳴損失が大幅に増加するため、その適用は困難である。この問題を克服のために、FeCo/NiFe積層薄膜、FeCo/反磁性体積層薄膜、FeCo/酸化物グラニュラー薄膜など薄膜構造の提案がある。一方、本課題では、これまでに例のない、アセチレンガス導入による反応性スパッタ法を用いて形成するFeCo磁性薄膜を、薄膜インダクタ用磁芯材料として提案する。高飽和磁化を示すFeCo合金薄膜は,異方性磁界Hkを大きくすることによって,共鳴周波GHzまでの広帯域化が可能となる。本研究の目標は、共鳴周波数は3GHz以上、比透磁率実部は1000以上、4πMsは20kG以上の高性能薄膜磁芯の開発である。

Wired LAN wireless Bluetooth devices represent the integration of high-speed, high-capacity communication machines, miniaturization, low-speed, high-capacity, high-speed, high-capacity, low-speed, high-capacity, high-speed, high-capacity, low-speed, high-capacity, high-speed, high-capacity, low In general, the magnetic thin film GHz domain is widely used to increase the size of the magnetic film, and to use the magnetic film. To overcome the problems, such as FeCo/NiFe active thin film, FeCo/ diamagnetic thin film, FeCo/ acid compound thin film and so on, we propose to make thin films. One party, this topic, this topic High temperature and magnetization show that the FeCo alloy film, the square magnetic field Hk, the magnetic field, the magnetic field and the magnetic field. In this study, the target, the total cycle wavenumber is above 3GHz, the specific permeability is above 1000, and the high performance thin film core is over 4 π Ms 20kG.

项目成果

Magnetic Properties of FeCo Films Prepared by Co-Sputtering and Hydrogenous Gas Reactive Sputtering

共溅射和氢气反应溅射制备FeCo薄膜的磁性能

• 发表时间: 2008
• 期刊: IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS 44
• 作者: Xiaoxi Liu;Akimitsu Morisako
• 通讯作者: Akimitsu Morisako

Soft magnetic properties of FeCo films with high saturation magnetization

• DOI: 10.1063/1.2839612
• 发表时间: 2008-04-01
• 期刊: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
• 影响因子: 3.2
• 作者: Liu, Xiaoxi;Morisako, Akimitsu
• 通讯作者: Morisako, Akimitsu