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フォトニック結晶のための異種レジスト多層膜を用いた一括リソグラフィ技術の開発

光子晶体用异质抗蚀剂多层膜批量光刻技术的开发

基本信息

批准号：
12J08974
负责人：
下田誠
金额：
$ 1.73万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2012
资助国家：
日本
起止时间：
2012 至 2015-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

3次元微細周期構造からなる3次元フォトニック結晶は次世代光学素子として広く応用研究されている. ただし, 3次元フォトニック結晶の製造は困難であり, その大量生産技術は確立されていない.本研究の目的は, 3次元微細周期構造の大量生産のための製法として"異種レジスト一括リソグラフィ"を提案し, 実現することである. 異種レジスト一括リソグラフィとは, 感光性の異なるレジストを含むレジスト多層膜の各層に一括で2次元パターンを作製するリソグラフィ技術である.異種レジスト一括リソグラフィの実現には「感光性を維持した周期レジスト多層膜の作製」が必須であり, 昨年の研究では, レジスト多層膜作製時のレジストの混合(ミキシング)の問題を解決するために中間膜のラミネート成膜が有効であることを示した.そこで, 本年度は中間膜のラミネート成膜を用いた周期レジスト多層膜作製技術の確立を目指した. 中間膜には, ①現像液が"浸透"する②中間膜上へのレジスト膜の成膜が可能である, という二つの機能が要求される. この二つの機能を同時に満たす中間膜の成膜方法として, (A)材料による方法(B)中間膜の構造による方法, の二通りの方法を検討した.(A)では「現像液には可溶, レジスト溶液には不溶である材料」によって①②を満たそうとした. しかし, 適切な材料を発見することはできなかった.(B)では「現像液・レジスト溶液の双方に不溶だが, 現像液は通過可能, レジスト溶液は通過不可能な"隙間"のある構造」によって①②を満たそうとした. 多孔質ガラスを用いることで"隙間"のある中間膜を作製したが, 現像液を通過させることはできなかった.

3-D fine periodic structure, 3-D fine periodic structure, 3-D fine periodic It is difficult to produce crystals in three dimensions, and mass production technology is established. The purpose of this study is to propose a method for mass production of 3-D fine periodic structures. Heterogeneous multi-layer films, including two-dimensional multi-layer films, are made of different photosensitive materials. In order to realize the development of heterogeneous multi-layer films, it is necessary to maintain the photosensitivity and to manufacture multi-layer films periodically. Last year, the study was conducted to solve the problem of mixture of photosensitivity and multi-layer films. This year, the establishment of multilayer film manufacturing technology for intermediate film production was pointed out. Intermediate film: ① Immersion of the developing solution; ② Film formation on the intermediate film is possible, and the function of the intermediate film is required. The film formation method of the intermediate film that combines these two functions at the same time is discussed. The two-way method of (A) the material method and (B) the structure method of the intermediate film is discussed. (A)The solution is insoluble. The appropriate materials are available. (B)The two sides of the solution are insoluble, and the solution can pass through the gap. The porous medium is made of "gap" and the imaging liquid is made of "gap".