Probing the heterogenous structures in buried interfaces by synchrotron X-ray reflection tomography

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本研究は、シンクロトロン放射光の平行性の高い微小Ｘ線ビームを用い、高い空間分解能の３次元表面界面イメージングを目指している。研究室内で製作する試料まわりの部品類をビームラインに備わっている機器と有効に組み合わせて活用するつもりで準備していたが、実験室系Ｘ線源による事前テストでも十分な結果を得ることができなかったため、次のステップになかなか進めることができず、結果として放射光による高分解能データを取得するに至っていない。事前テストでは、放射光の平行配置とは異なり、ファンビーム配置（垂直方向）としたが、水平方向の角度発散を十分に抑えきれず、試料に対する視射角を変化させた時の表面、界面でのコントラストを十分出せなかったことが問題であると後になってわかった。簡単な原理のように見えるが、部品はどの１つをとっても細心の注意を払う必要がある。研究所の任期中の最後の放射光実験の機会に間に合わせることができなかったのは残念であるが、高分解能イメージングに必要な諸条件、特に機器、部品のそれぞれの細かな条件を詳しく明らかにすることができた。