ナノ厚みの無機自立膜の物性研究

纳米厚无机自支撑薄膜物理性能研究

• 批准号: 20710079
• 负责人: JIN 健
• 金额: $ 2.25万
• 依托单位: National Institute for Materials Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20710079/
• 关键词: 薄膜物性; 無機自立膜; 界面活性剤; 泡膜

自立膜は、センサーや表示デバイスなどの基本的な構造要素である。特に、ナノメートル厚みの自立膜は、金属や半導体のナノ物性の解明、あるいはMEMSなどの先端デバイスの実現のために盛んに研究されるようになってきた。最近、我々は見出した乾燥泡膜(Dried Foam Films)形成方法に基づいて、ナノメートル厚みの極薄い無機自立膜の鮪単な製造プロセスを開発することに成功した(Jin. J. et al., Nature Mater. 2007, 6, 686-691)。この研究に、我々は上述の無機自立膜の物理性質について、特に、機械的な性質の解明を目指して探索する。我々は、原子間力顕微鏡(AFM)技術を利用し、得られた力-曲線を解析することにより、膜の機械性質を探索するための有力な手段であることがわかった。本年度内、最初、AFMを利用し、乾燥泡膜の機械性質を測定した。この結果より、乾燥泡膜はヤング率が10-30MPaの範囲である。この乾燥泡膜は、バイオ膜機械強度の数千倍あたいを示し、高い機械強度を示唆することが明らかにした。次は、スパッタリングにより、乾燥泡膜の表面に異なる厚み(2-10ナノメートル)を有する白金薄膜を堆積させ、続いて、乾燥泡膜の除去に伴い自立白金薄膜を得た。前述の同じ方法を用い、この自立白金薄膜の機械強度の測定について、現在検討中である。

Self-supporting membrane, Special, thick and self-supporting film, metal and semiconductor properties of the solution, the development of MEMS technology and research Recently, we have seen the successful development of a method for forming dried foam films, which is based on the production of thin inorganic free-standing films. J. et al., Nature Mater. 2007, 6, 686-691)。In this study, we aim to explore the physical properties, characteristics and mechanical properties of the inorganic self-supporting films. We use atomic force microscopy (AFM) technology to analyze force-curves and explore mechanical properties of films. During the year, AFM was initially used to determine the mechanical properties of dried bubble films. As a result, the drying rate of bubble film is 10 - 30 MPa. The dry bubble film has a mechanical strength that is thousands of times higher than that of the dry bubble film. Second, the thickness of the surface of the dry bubble film varies from 2 to 10 mm, and the platinum film is deposited and removed. The same method was used to determine the mechanical strength of the self-supporting platinum film.

项目成果

Nanomechanical properties of reversed surfactant bilayers formed in micrometre-sized holes.

在微米尺寸的孔中形成的反向表面活性剂双层的纳米机械特性。

• 发表时间: 2008
• 期刊: Chemical Communications
• 影响因子: 4.9
• 作者: Jian Jin;Y. Sugiyama;K. Mitsui;H. Arakawa;Izumi Ichinose
• 通讯作者: Izumi Ichinose