evaluation of ultrahigh precision machining tool using on-machine measurement of diffratcion gratings

利用衍射光栅在机测量评估超高精度加工刀具

• 批准号: 20760092
• 负责人: MORITA Shin-ya
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: The Institute of Physical and Chemical Research
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20760092/
• 关键词: 機上測定; 超精密加工機; 超精密切削; 回折格子; 単結晶ダイヤモンド工具; 超精密加工; 超精密バニシング加工; 回折光測定; 干渉測定; 高脆材料; 硫化亜鉛; セレン化亜鉛

A performance evaluation method of ultrahigh precision machine tools has been developed for the manufacturing of high-efficiency ultrahigh-dispersion diffraction gratings, using on-machine measurement units. In order to construct fabricating processes of diffraction grating groove, long-life diamond cutting tools for brittle materials, diamond burnishing for soft or amorphous metal materials tools has been developed. A compact laser autofocus displacement sensor has been developed and on-machine profile measurement system has been constructed and a profile of grating substrates has been measured. On-machine diffracted light measurement method has been developed, and a difference between burnished groove and micro cut groove has been observed.

提出了一种基于在机测量单元的高效率超高色散衍射光栅加工精密机床性能评价方法。为了构建衍射光栅槽的加工工艺，研制了用于脆性材料的长寿命金刚石刀具、用于软质或非晶态金属材料的金刚石抛光刀具。研制了一种紧凑型激光自聚焦位移传感器，构建了在线轮廓测量系统，并对光栅基片的轮廓进行了测量。提出了在机衍射光测量方法，观察了抛光槽与微切槽的差异。

项目成果

長田パッチ光線追跡を用いた中性子ミラーのアライメント誤差評価手法

基于Nagata贴片射线追踪的中子镜对准误差评估方法

• 发表时间: 2011
• 作者: 森田晋也;山形豊;古坂道弘
• 通讯作者: 古坂道弘

超精密加工機による回折格子のバニシング加工

使用超精密加工机对衍射光栅进行抛光

• 发表时间: 2011
• 期刊: 2011年度精密工学会春季大会学術講演会論文集
• 作者: 藤本アキラ;森田晋也;山形豊
• 通讯作者: 山形豊

超精密加工機上における回折格子の回折特性評価

超精密加工机上衍射光栅的衍射特性评估

• 发表时间: 2012
• 期刊: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
• 作者: 森田晋也;山形豊
• 通讯作者: 山形豊

超精密加工機による回折格子加工および評価

使用超精密加工机进行衍射光栅加工和评估

• 发表时间: 2012
• 期刊: 2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
• 作者: 藤本アキラ;森田晋也;山形豊
• 通讯作者: 山形豊

非接触機上計測システムの開発

非接触式在机测量系统的开发

• 发表时间: 2011
• 作者: 広瀬一;三浦勝弘;塚本貴雄;山形豊;森田晋也;鈴木浩文
• 通讯作者: 鈴木浩文