Development of a high sensitive and resolution angle sensor using single-cell photodiodes

使用单电池光电二极管开发高灵敏度和分辨率角度传感器

• 批准号: 21760094
• 负责人: ARAI Yoshikazu
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760094/
• 关键词: 角度計測; 非分割型光電変換素子; オートコリメーション法; 多自由度; 角度センサ; 位置検出素子; 高感度; 高分解能

This research proposes an angle sensor using single-cell photodiodes to measure small tilt angles. This sensor can overcome a weakness in conventional technology. The weakness is decrease of S/N ratio because of the influence by the insensitive gap between the photodiode cells of multi-cell photodiode. In autocollimation method, when a light spot size is reduced to improve the sensitivity of angle sensor, the strongest central signal of the light spot intensity distribution decreases. The performance of the developed sensor is demonstrated.

本研究提出一种使用单细胞光电二极管测量小倾斜角度的角度传感器。这种传感器可以克服传统技术的一个弱点。缺点是受光电二极管单元间不敏感间隙的影响，信噪比降低。在自准直方法中，当减小光斑尺寸以提高角度传感器的灵敏度时，光斑强度分布的最强中心信号减小。最后对所研制传感器的性能进行了验证。

项目成果

Development of a highly sensitive angle sensor by using single-cell photodiodes

使用单电池光电二极管开发高灵敏度角度传感器

• 发表时间: 2009
• 作者: T. Suzuki;Y. Saito;Y. Arai;W. Gao
• 通讯作者: W. Gao

非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究

基于非分割PD的高灵敏度角度传感器研究

• 发表时间: 2009
• 作者: 鈴木達郎;齋藤悠佑;荒井義和;高偉
• 通讯作者: 高偉

シングルセルPDを用いた角度センサに関する研究

基于单电池PD的角度传感器研究

• 发表时间: 2010
• 作者: 菅野哲生;高偉;荒井義和
• 通讯作者: 荒井義和

laser Autocollimator of using Single-cell Photodiodes

使用单细胞光电二极管的激光自准直仪

• 发表时间: 2010
• 作者: Tetsuo Sugeno;Hiroshi Muto;Yoshikazu Arai;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao

A laser Autocollimator of using Single-cell Photodiodes

使用单细胞光电二极管的激光自准直仪

• 发表时间: 2010
• 作者: Tetsuo Sugeno;Hiroshi Muto;Yoshikazu Arai;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao