Strukturelle und thermische Eigenschaften von Metall-Keramik Multilagen

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Ziel der weiteren Untersuchungen ist es, die Periode der Multilage noch weiter zu reduzieren und noch höhere Einfallswinkel zu ermöglichen. Dies soll durchgeführt werden, ohne auf Kompromisse bezüglich der Schichtqualität einzugehen. Nach dem Weggang von Markus Veldkamp hat Dr. Nefedov sich dieses Projekts angenommen. Seine ersten Ergebnisse von einer gesputterten V/Al2O3 Multilage sind im BESSY Jahresbericht 1999 wiedergegeben. Neben der weiteren Entwicklung von V/a-Alox Multilagen soll Dr. Nefedov auch Ti/a-Alox Multilagen herstellen und charakterisieren. Von diesen Multilagen liegen ebenfalls sehr vielversprechende aber noch vorläufige Ergebnisse von M. Veldkamp vor. Wieder kann man deutliche resonanzartige Erhöhung der Reflexion in der Nähe der Ti 2p Absorptionskanten bei 454 eV und 461 eV erkennen. Da unsere Sputteranlage durch einen sehr hohen Probendurchsatz in den letzten Monaten stark gelitten hat, mußte eine aufwendige und zeitraubende Reconditionierung der Anlage vorgenommen werden. Diese ist inzwischen abgeschlossen. Der Basisdruck der Anlage, der sehr entscheidend für den Einbau von Wasserstoff und Wasser in die Multilagen ist, konnte wieder drastisch reduziert werden. Mit diesen neuen Konditionen soll nur Dr. Nefedov die weiteren Schichten herstellen und röntgenoptisch charakterisieren.