Biomagnetic measurement using by thin film magnetic field sensor array

使用薄膜磁场传感器阵列进行生物磁测量

• 批准号: 22360166
• 负责人: YABUKAMI Shin
• 金额: $ 11.9万
• 依托单位: Tohoku Gakuin University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010-04-01 至 2014-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360166/
• 关键词: 計測システム; 計測工学; 電子デバイス・機器; 心磁界; 磁性薄膜; 磁界センサ; 心磁界計測; イメージング; 室温動作; セラミック基板

A very sensitive thin film sensor was developed using a coplanar line fabricated from SrTiO film, amorphous CoNbZr film and Cu/Cr film. This film enhanced the sensitivity of the magnetic field sensor, a phase change of more than 100 degrees/Oe and gain of over -40 dB being achieved simultaneously. The sensor with SrTiO film enhanced the sensitivity about 1.6 times greater than that with SiO2 film because of the high permittivity of the SrTiO film. A small phase change was detected using a Dual Mixer Time Difference (DMTD) method when a weak magnetic field was applied. The sensor was applied to magnetocardiogram (MCG) measurement without magnetic shielding. Measurement of the MCG signals at 16 points without magnetic shielding were successful, and these signals were found to roughly agree with MCG signals obtained with a SQUID.

利用由SrTiO薄膜、非晶态CoNbZr薄膜和铜/铬薄膜构成的共面线，研制了一种高灵敏度的薄膜传感器。该薄膜提高了磁场传感器的灵敏度，相位变化大于100度/Oe，增益大于-40分贝。由于SrTiO薄膜具有较高的介电常数，使传感器的灵敏度提高了约1.6倍。在弱磁场作用下，利用双混频时间差(DMTD)法检测到了微小的相变。将该传感器应用于无磁屏蔽的心磁图测量。在没有磁屏蔽的情况下，成功地测量了16个点的MCG信号，这些信号被发现与用SQUID获得的MCG信号大致一致。

项目成果

伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化と応用

传输线型薄膜磁场传感器的高灵敏度及其应用

• 发表时间: 2012
• 作者: 薮上信;中野弘道;小島徳;佐藤弘二;小澤哲也;小林伸聖;中居倫夫;荒井賢一
• 通讯作者: 荒井賢一

コプレーナ線路を用いた薄膜磁界センサの高感度化

使用共面线的高灵敏度薄膜磁场传感器

• 发表时间: 2011
• 作者: 薮上信;赤間史典;佐藤弘二;谷地舘藍;山田洋;小澤哲也;小林伸聖;中居倫夫
• 通讯作者: 中居倫夫

細長ワイヤレス磁気マーカを用いた生体用チューブの位置検出

使用细长无线磁性标记进行生物管位置检测

• 发表时间: 2010
• 作者: 佐藤龍介;薮上信;小澤哲也;金高弘恭;枦修一郎
• 通讯作者: 枦修一郎

伝送線路型薄膜磁界センサの試作

传输线型薄膜磁场传感器原型

• 发表时间: 2010
• 期刊: 電気学会マグネティクス研究会論文集
• 作者: 谷地舘藍;佐藤弘二;佐藤彰;薮上信;小澤哲也;小林伸聖;中居倫夫;荒井賢一
• 通讯作者: 荒井賢一

磁性リボンを用いた位置検出システムの評価

使用磁带的位置检测系统的评估

• 作者: R.Yamamoto;T.Miyoshi;and Y.Tanaka;松本高志・白木聡仁・林川俊郎・何興文;Jingyu Xiang;薮上 信
• 通讯作者: 薮上 信