Error analysis and reduction in profilometry using multi-probe methods

使用多探头方法进行轮廓测量的误差分析和减少

• 批准号: 22560130
• 负责人: KUME Tatsuya
• 金额: $ 3万
• 依托单位: High Energy Accelerator Research Organization
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560130/
• 关键词: 形状測定; 誤差伝播; 多点法; スティッチング; ゼロ点ずれ; 精密形状測定

The estimated errors for the profiles obtained by 2-point method, 3-point method, and stitching agree well with the experimental values and it shows validity for our error estimation. It also shows that the systematic error shown in the measurements by using our profile measurement system adopting zero-adjustment method, which prevents zero difference between the three displacement meters for 3-point method affecting the measurements, can be caused by error in the measurement positions. Furthermore, it was experimentally shown that the fluctuation of the zero difference can be detected and compensated with the stability equal to the resolution of the displacement meters.

对两点法、三点法和拼接法所得轮廓的误差估计与实验值吻合较好，表明了本文误差估计的有效性。本文还指出，采用调零法的轮廓测量系统，由于测量位置的误差，可以避免三点法中三个位移计之间的零点差对测量结果的影响。此外，实验表明，零差的波动可以检测和补偿的稳定性等于位移计的分辨率。

项目成果

Straightness evaluation for the 206-m-long part of the KEK electron/positron linac using inclinometers

使用测斜仪评估 KEK 电子/正电子直线加速器 206 米长部分的直线度

• 发表时间: 2012
• 作者: T.Kume;E.Okuyama;M.Satoh;T.Suwada;and K.Furukawa
• 通讯作者: and K.Furukawa

Evaluation of the alignment for long linear accelerators using a level

使用水平仪评估长直线加速器的对准

• 发表时间: 2012
• 期刊: 第9回日本加速器学会年会 2012 予稿集
• 作者: T.Kume;E.Okuyama;M.Satoh;T.Suwada;and K.Furukawa
• 通讯作者: and K.Furukawa

形状測定装置及び形状測定方法

形状测量装置及形状测量方法

• 发表时间: 2013

多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討 (第3 報)-ゼロ点ずれ変動検出方法の改良-

多点法形状测量中的零点偏差消除方法研究（第3次报告） - 零点偏差波动检测方法的改进 -

• 发表时间: 2013
• 期刊: 2013 年度精密工学会春季大会予稿集
• 作者: 久米;江並;東;上野;山中
• 通讯作者: 山中

多点法による形状測定におけるゼロ点ずれ除去方法の検討-第2 報 ゼロ点ずれ変動監視機構の検討

多点法形状测量中零点偏差消除方法的研究-第2部分零点偏差波动监测机制的研究

• 发表时间: 2011
• 期刊: 2011年度精密工学会秋季大会予稿集
• 作者: 久米;江並;東;上野
• 通讯作者: 上野