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Dynamic process of ultrashort-pulse laser pumped nanostructure formation in attosecond time scale and its application

阿秒时间尺度超短脉冲激光泵浦纳米结构形成动态过程及其应用

基本信息

批准号：
23360034
负责人：
MIYAZAKI KENZO
金额：
$ 13.31万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2011
资助国家：
日本
起止时间：
2011-04-01 至 2014-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

We have demonstrated that periodic nanostructure formation on dielectric, semiconductor, and metal surfaces irradiated with femtosecond laser pulses is dominated by the excitation of surface plasmon polaritons (SPPs), through the time-resolved measurements. Modeling the physical process of nanostructuring, we have developed a new ablation technique to control the excitation of spatial SPP wave modes and directly imprint a homogeneous nanograting on solid surfaces in air. It is also shown, based on the mechanism, that the nanograting period can be reduced by making use of shorter-wavelength lasers. Thus this project has successfully developed the fundamental principle and technique of a new nanoprocessing that can fabricate nanogratings with lasers beyond the diffraction limit.

我们已经证明，周期性的纳米结构的形成与飞秒激光脉冲照射的电介质，半导体和金属表面上的表面等离子体激元（SPPs）的激发，通过时间分辨的测量占主导地位。模拟纳米结构的物理过程，我们已经开发出一种新的烧蚀技术来控制空间SPP波模式的激发，并直接在空气中的固体表面上压印均匀的纳米光栅。它也表明，基于该机制，可以通过使用较短波长的激光器来减少纳米光栅周期。因此，该项目成功地开发了一种新的纳米加工的基本原理和技术，可以用激光制造超过衍射极限的纳米光栅。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Nanostructuring of Silicon Surface with Near-Field Enhanced in Femtosecond Laser Ablation

飞秒激光烧蚀近场增强硅表面纳米结构

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
G.Miyaji;K.Zhang;J.Fujita;K.Miyazaki
通讯作者：
K.Miyazaki

Periodic Nanopattern Formation on Si with Femtosecond-Laser-Induced Surface Plamon Polaritons

用飞秒激光诱导表面等离激元在硅上周期性形成纳米图案

DOI：
发表时间：
2012
期刊：
Proceedings of the 13th International Symposium on Laser Precision Microfabrication
影响因子：
0
作者：
Shota Yamada;Bong-Shik Song;Takashi Asano;Susumu Noda;K. Miyazaki and G. Miyaji
通讯作者：
K. Miyazaki and G. Miyaji

Nanograting fabricated with femtosecond laser pulses

用飞秒激光脉冲制造纳米光栅

DOI：
10.1117/2.1201210.004516
发表时间：
2012
期刊：
SPIE Newsroom
影响因子：
0
作者：
Atsushi Sugita;Yasuaki Sato;Kazuma Ito;Kenta Murakami;Yasuaki Tamaki;Nobuyuki Mase;Yoshimasa Kawata and Shigeru Tasaka;Kenji Tamasaku;G. Miyaji and K. Miyazaki
通讯作者：
G. Miyaji and K. Miyazaki

配向分子からの高次高調波発生における複数分子軌道の寄与

多个分子轨道对定向分子高次谐波产生的贡献