Development of Morphology Control of Aluminum Films by Vacuum Evaporation and Application to Various Functional Devices

真空蒸镀铝膜形貌控制的研究进展及其在各种功能器件中的应用

• 批准号: 23550100
• 负责人: HIGO Morihide
• 金额: $ 3.33万
• 依托单位: Kagoshima University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23550100/
• 关键词: 真空蒸着; アルミニウム薄膜; 表面形態; 機能素子; 交流インピーダンス法; 表面積; 表面プラズモンセンサー; エタノール添加ガソリン; 蒸着アルミニウム薄膜; 走査型電子顕微鏡; 電解コンデンサー; X線光電子分光法; 表面プラズモン共鳴センサー; Ｘ線光電子分光法; 形態制御; SPRセンサー

A new technique for preparing aluminum films having large surface areas and models for functional devices such as electrolytic capacitors or catalysts by vacuum evaporation was developed. The evaporation of aluminum onto heated aluminum substrates at temperatures between 460 and 520 degrees C gave the aluminum films having an isolated and columnar microstructure of standing grains with a diameter of about 1 micrometer. The comparison between the electric double-layer capacities of the aluminum films having the microstructure and the smooth aluminum substrates obtained from AC impedance measurements showed about a 2.6 times increase in the surface area. Concentrations of ethanol in gasoline were measured using an aluminum-deposited surface plasmon resonance-based glass rod sensor. The sensor has the evaporated aluminum film with a thickness of 15 nm and with a light-emitting diode at a wavelength of 400 nm and a photodiode.

发展了一种用真空蒸发法制备大比表面积铝膜和电解电容器、催化剂等功能器件模型的新技术。在460至520摄氏度之间的温度下将铝蒸发到加热的铝基板上，得到具有直径为约1微米的直立晶粒的孤立的柱状微结构的铝膜。具有该微结构的铝膜和由交流阻抗测量获得的光滑铝基板的双电层容量之间的比较显示出表面积增加了约2.6倍。使用基于铝沉积的表面等离子体共振的玻璃棒传感器测量汽油中的乙醇浓度。该传感器具有厚度为15 nm的蒸镀铝膜，并具有波长为400 nm的发光二极管和光电二极管。

项目成果

走査型電子顕微鏡と交流インピーダンス法によるアルミニウム基板上に真空蒸着したアルミニウム薄膜の形態観察

扫描电镜和交流阻抗法观察铝基真空沉积铝薄膜的形貌

• 发表时间: 2011
• 作者: 林田 将充;中澤 貴士;満塩 勝;肥後盛秀;堀江 雄二;大園 義久
• 通讯作者: 大園 義久

X線光電子分光法による酸素グロー放電酸化金薄膜の保存に関する研究

X射线光电子能谱法对氧辉光放电氧化金薄膜的保存研究

• 发表时间: 2011
• 作者: 南 紀彦;満塩 勝;肥後 盛秀;大園 義久
• 通讯作者: 大園 義久

Ｘ線光電子分光法による酸素グロー放電により表面改質された銀薄膜の状態分析

使用X射线光电子能谱分析氧辉光放电表面修饰的银薄膜的状态

• 发表时间: 2011
• 作者: 松井 章紀;満塩 勝;肥後 盛秀;大園 義久
• 通讯作者: 大園 義久

金属蒸着ガラス棒センサーの応答機構に関する研究（１６）；テフロンAF系被覆膜における試料の分子構造と選択性の関係

金属沉积玻璃棒传感器响应机理研究（16）；Teflon AF基涂膜样品分子结构与选择性关系

• 作者: 竹之下 賢太;満塩 勝;肥後 盛秀
• 通讯作者: 肥後 盛秀

液中の物質を検出する選択性を持った金属蒸着SPR ガラス棒センサー

金属沉积 SPR 玻璃棒传感器，可选择性检测液体中的物质

• 发表时间: 2013
• 作者: 肥後 盛秀;満塩 勝
• 通讯作者: 満塩 勝