Study of optical modulation by surface plasmon resonance using MOS structure

利用MOS结构的表面等离子体共振光调制研究

• 批准号: 23560399
• 负责人: TABEI Tetsuo
• 金额: $ 3.33万
• 依托单位: Hiroshima University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560399/
• 关键词: 光変調器; シリコンフォトニクス; 表面プラズモン

In order to develop a silicon optical modulator with features as compact footprint, high extinction ratio and low power consumption, optical modulation based on surface plasmon resonance using metal-oxide-semiconductor (MOS) structure is verified by numerical analysis and experimental. A surface plasmon is a coupling of electromagnetic wave and collective oscillation of electrons, generating at the interface of metal and dielectric. From the numerical analysis, it is confirmed that the proposed optical modulator with sizes of a few tens of um has high extinction ratio. The proposed optical modulator is fabricated actually, and the light modulation which seems to be due to surface plasmon resonance is confirmed.

为了开发具有紧凑尺寸、高消光比和低功耗的硅光调制器，通过数值分析和实验验证了基于金属氧化物半导体（MOS）结构的表面等离子体共振的光调制。表面等离子体激元是电磁波和电子集体振荡的耦合，在金属和电介质的界面处产生。通过数值分析，证实所提出的尺寸为几十微米的光调制器具有高消光比。实际制造了所提出的光调制器，并且证实了似乎是由于表面等离子体共振引起的光调制。

项目成果

Optical modula- tion based on surface plasmon resonance us- ing metal-insulator-semiconductor struc- ture

使用金属-绝缘体-半导体结构的基于表面等离子体共振的光调制

• 发表时间: 2013
• 作者: T. Tabei;S. Yokoyama
• 通讯作者: S. Yokoyama

表面プラズモン共鳴型シリコン光変調器の改善

表面等离子体共振型硅光调制器的改进

• 发表时间: 2013
• 作者: 田部井哲夫;横山新
• 通讯作者: 横山新

Proposal of a silicon optical modulator based on surface plasmon resonance

基于表面等离子体共振的硅光调制器的提出

• DOI: 10.1117/12.922864
• 发表时间: 2012
• 期刊: Proc. SPIEProc. SPIE 8431, Sili- con Photonics and Photonic Integrated Cir- cuits III
• 作者: Masahiro Kamiyama;Ryo Ishikawa;Kazuhiko Honjo;T. Tabei and S. Yokoyama
• 通讯作者: T. Tabei and S. Yokoyama

MOS構造を用いた表面プラズモン共鳴をベースとするシリコン光変調器

采用MOS结构的基于表面等离子体共振的硅光调制器

• 发表时间: 2012
• 作者: 田部井哲夫;横山新
• 通讯作者: 横山新

表面プラズモン共鳴をベースとしたシリコン光変調器の試作

基于表面等离子体共振的硅光调制器原型

• 发表时间: 2012
• 作者: 田部井哲夫;横山新
• 通讯作者: 横山新