Development of a single-shot soft-X-ray reflection type microscope

单次软X射线反射型显微镜的开发

• 批准号: 23651103
• 负责人: SUEMOTO Tohru
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23651103/
• 关键词: ナノ計測; 軟 X 線レーザー; 顕微技術; 時間分解; 軟Ｘ線レーザー

A grazing angle incident reflection type soft x-ray microscope, using a Fresnel zoneplate as an imaging element and a soft x-ray laser with a wavelength of 13.9 nm and a pulse width of 7 ps as a light source was developed. Groove structures made on a Pt film were clearly captured at a single shot exposure. The spatial resolution near the center of the field was 200 nm and 1000 nm in vertical and horizontal directions, respectively. The degradation of the resolution within 100 μm square was tolerable. This microscope was proven to have a performance sufficient for scientific use.

研制了一种掠角入射反射式软X射线显微镜，该显微镜采用菲涅耳波带板作为成像元件，波长为13.9 nm，脉宽为7ps的软X射线激光为光源。在铂薄膜上制作的凹槽结构在单次曝光时被清楚地捕捉到。视场中心附近垂直方向的空间分辨率为200 nm，水平方向的空间分辨率为1000 nm。分辨率在100μm~2范围内的下降是可以容忍的。这台显微镜被证明具有足够的性能，可以用于科学研究。

项目成果

Experimental verification of femtosecond laser ablation schemes by time-resolved soft x-ray reflective imaging

通过时间分辨软X射线反射成像对飞秒激光烧蚀方案进行实验验证

• DOI: 10.1364/oe.20.029329
• 发表时间: 2012
• 期刊: Optics Express
• 影响因子: 3.8
• 作者: Toru Yajima;Yingying Yu;Masayuki Futamata;Takuro Tomita
• 通讯作者: Takuro Tomita

軟Ｘ線レーザー干渉計と反射率計測で見るフェムト秒レーザーアブレーション

使用软 X 射线激光干涉仪和反射率测量观察到的飞秒激光烧蚀

• 发表时间: 2012
• 期刊: レーザー学会第436回研究会報告
• 作者: Toru Yajima;Yingying Yu;Masayuki Futamata;Takuro Tomita;M. Futamata;錦野将元
• 通讯作者: 錦野将元

プラズマX線レーザーの発生と物質アブレーション(招待)

等离子体X射线激光的产生和材料烧蚀（邀请）

• 发表时间: 2012
• 作者: 錦野将元

Development of thesingle shot soft x-ray interferometer for observation of the nanometer- scaled surface dynamics (poster)

开发用于观察纳米级表面动力学的单次软X射线干涉仪（海报）

• 发表时间: 2012
• 作者: 錦野将元;伊與木健太,下嶋敦,大久保達也;Takuro Tomita;伊與木健太,下嶋敦,大久保達也;Noboru Hasegawa
• 通讯作者: Noboru Hasegawa

軟 X 線プローブによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の直接観測(口頭）

使用软X射线探头直接观察飞秒激光消融过程（口腔）

• 发表时间: 2012
• 作者: 竹田龍平;多賀谷基博;生駒俊之;吉岡朋彦;南不二雄;田中順三;長谷川登
• 通讯作者: 長谷川登