Study of dissipative quantum state by means of high-frequency ultrasonic devices processed by micromachining

利用微加工高频超声器件研究耗散量子态

• 批准号: 23654116
• 负责人: NEMOTO Yuichi
• 金额: $ 2.33万
• 依托单位: Niigata University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23654116/
• 关键词: 超音波; 圧電デバイス; 微細加工; 圧電素子; 高周波; 弾性定数; 強相関

We usually use a variety of piezoelectric transducers for generation and detecting of ultrasound signals in low-temperature measurements of elastic constants and ultrasonic attenuation coefficients. In this work, we tried to make high-frequency transducers developed by using processing technology. At first, basic process is involved in manufacturing inverted mesa-type crystals. The thickness of limited central area of conventional AT-cut quarts crystal is etched down to 5 μm for desired frequency over 150 MHz with fundamental mode. We successfully made devices with fundamental frequency of 260 MHz with blanks and applied to measure the elasticconstant C44 in Ce_3Pd_20Ge_6 with inverted mesa-type AT-cut quarts transducer. On the other hand, we found it is difficult to etch practically the LiNbO_3 and LiTaO_3 in thesame process with quarts crystal. The advanced technique using nano-particle fluid is nowdeveloped utilizing for inverted mesa-type tips made of LiNbO_3.

在弹性常数和超声衰减系数的低温测量中，通常使用各种压电换能器来产生和检测超声信号。在这项工作中，我们试图使高频换能器开发使用加工技术。首先介绍了倒置台面型晶体的基本制作工艺。对常规AT切石英晶体有限中心区的厚度进行了刻蚀，刻蚀后的晶体中心区厚度为5 μm，基模工作频率超过150 MHz。我们成功地用毛坯制作了基频为260 MHz的器件，并应用倒置台面式AT切石英换能器测量了Ce_3Pd_20Ge_6中的弹性常数C44。另一方面，我们发现用石英晶体在实际中很难同时刻蚀LiNbO_3和LiTaO_3。利用铌酸锂（LiNbO_3）材料制成的倒置台面型针尖，发展了纳米流体的先进技术。

项目成果

磁場中超音波計測によるHoRh2Si2の四極子効果

磁场中超声波测量HoRh2Si2的四极效应

• 发表时间: 2011
• 作者: 菊池彦光;石川裕也;藤井 裕;光藤誠太郎;松尾 晶;金道浩一;三木啓輔
• 通讯作者: 三木啓輔

Quadrupole Orderings and Rattling Motions of Clathrate Compound Pr_3Pd_<20>Ge_6

笼形化合物Pr_3Pd_<20>Ge_6的四极有序性和震颤运动

• DOI: 10.1143/jpsj.81.034710
• 发表时间: 2012
• 期刊: J.Phys.Soc.Jpn.
• 作者: Genki Ano;Mitsuhiro Akatsu;Koji Araki;Kazuo Matsuo;Yoshiaki Tachikawa;Keisuke Mitsumoto;Takashi Yamaguchi;Yuichi Nemoto;Terutaka Goto;Naoya Takeda;Andreas Donni;Hideaki Kitazawa
• 通讯作者: Hideaki Kitazawa

PrIr2Zn20の反強四極子秩序

PrIr2Zn20 中的反强四极级

• 发表时间: 2011
• 作者: 石井勲;宗重仁士;末冨靖彦;藤田貴弘;鬼丸孝博;松本圭介;高畠敏郎;荒木幸治;赤津光洋;根本祐一;後藤輝孝;鈴木孝至
• 通讯作者: 鈴木孝至

パルス磁場を用いたSmOs4Sb12の超音波測定

使用脉冲磁场超声测量 SmOs4Sb12

• 发表时间: 2012
• 作者: 門別翔太;柳澤達也;日高宏之;網塚浩;根本祐一;赤津光洋;後藤輝孝;S.Yashin;S.ZherlitsynC北大理;北大創成
• 通讯作者: 北大創成

希土類カゴ状化合物Pr3Pd20Ge6の交流帯磁率測定

稀土笼状化合物Pr3Pd20Ge6的交流磁化率测量

• 发表时间: 2012
• 作者: 岩上欧史;浪指悠平;阿部聡;松本宏一;阿野元貴;赤津光洋;三本啓輔;根本祐一;後藤輝孝;武田直也;北澤英明
• 通讯作者: 北澤英明