In-plane structure control of thin film prepared on periodic underlayer with artificial nano-size microstructure

人工纳米微结构周期性底层薄膜的面内结构控制

基本信息

  • 批准号:
    24560900
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.49万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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