Einkristalline Diamant-Volumenkristalle im Hot-Filament CVD Verfahren

Einkristalliner Diamant Hat aufgrund seiner hervor ragenden machischen Eigenschaften eine Hohe Nachfrage ALS工业者Schneidwerkstoff and bietaufgrund seiner au？ergewöhnlichen Physikalischen Eigenschaften ein groçes Innovation Potenzial für Anwendungen in der Mikroelektronik.他说：“这是一件非常重要的事情，因为它是一件非常重要的事情。”我是热丝CVD Verfahren ein Prozesspareterraum gefunden，在Dem Nicht Wie Herkömlich Schichten，Sondern einzeln stehende Diamantkristalle wachsen。Es Wurden bereits Diamanten bis zu einer Gröçe von 100µm MIT Relatient vv Hoher Wachstumsrate and Hoher DiamantQualität Syntisiert。我是Antrag Sollen Folgende Wisenschaftliche Frasterellungen Wisenshaffiche Frasterellungen Wisenshaftliche您的位置：我也知道>教育/教育>教育/教育？你是不是不知道克里斯托尔鲍菲勒和克里斯塔尔鲍菲勒是谁，她是不是已经死了？他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。这是一个很大的问题，因为这是一个很大的问题。Im Projektzeitraum Sollen Substratvor Howie Sowie CVD-Prozess参数untersued，um das Potenzial des Verfahrens für die Herstellung von einkristallinem Diamant zu valuieren

Einkristalliner Diamant hat aufgrund seiner hervorragenden mechanischen Eigenschaften eine hohe Nachfrage als industrieller Schneidwerkstoff und bietet aufgrund seiner außergewöhnlichen physikalischen Eigenschaften ein großes innovatives Potenzial für Anwendungen in der Mikroelektronik. Die Verfügbarkeit von Diamant mit reproduzierbaren Eigenschaften bei definierter Größe und Reinheit ist jedoch bedingt durch hohe Kosten bei Gewinnung und synthetischer Herstellung immer noch limitiert. Am Lehrstuhl WTM wurde im Hot-Filament CVD Verfahren ein Prozessparameterraum gefunden, in dem nicht wie herkömmlich Schichten, sondern einzeln stehende Diamantkristalle wachsen. Es wurden bereits Diamanten bis zu einer Größe von 100 µm mit relativ hoher Wachstumsrate und hoher Diamantqualität synthetisiert. Im vorliegenden Antrag sollen folgende wissenschaftliche Fragestellungen untersucht werden: Auf welche Weise wird bei diesen CVD-Prozessbedingungen das Wachstum einzeln stehender Kristalle stabilisiert? Welche maximalen Wachstumsraten und Diamantqualität lassen sich im Prozessparameterfenster einstellen? Was sind die Ursachen für Kristallbaufehler und wie können sie unterbunden werden, sodass die Kristalle durchweg einkristallin wachsen? Das Verständnis der grundlegenden Zusammenhänge des beobachteten Diamantwachstums ist dabei hinsichtlich Keimstabilisierung, Kristallwachstum und Morphologieausbildung von wissenschaftlichem Interesse. Es ist darüber hinaus aber auch der Schlüssel für eine Abschätzung von Wirtschaftlichkeit und großtechnischer Realisierbarkeit dieses Verfahrens. Im Projektzeitraum sollen Substratvorbehandlung sowie CVD-Prozessparameter untersucht werden, um das Potenzial des Verfahrens für die Herstellung von einkristallinem Diamant zu evaluieren