走査電子顕微鏡のための人間能力活用型合焦支援システム

利用人类能力的扫描电子显微镜聚焦支持系统

• 批准号: 22K04221
• 负责人: 山崎 貞郎
• 金额: $ 1.75万
• 依托单位: Kogakuin University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2025-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K04221/
• 关键词: 合焦; 非点収差補正; 人間力活用; 能動型画像処理; 共分散; 相関係数; 走査電子顕微鏡; 合焦支援システム

一般的な走査電子顕微鏡(SEM)の分野において，最適な焦点合わせの操作や，完全に近い非点収差補正をおこなう目的で，合焦指標を得るためのSEM像に基づく信号の生成について検討をおこなった。合焦指標となるSEM像に基づく信号の安定性向上を目指し，新たな信号生成手法を提案した。当該信号に関わる重要な基本技術として，SN比を優先したSEM像取得と能動型画像処理に基づく信号補正を最大限に活用した。画像共分散に基づく最適な焦点合わせと非点収差補正において，人間力を活かす支援システムとして，本研究で用いる合焦指標の性能向上を評価した。本手法は実用的な範囲でノイズに対してほぼ影響を受けることはなく，極めてノイズの多いSEM像に対しても焦点合わせや非点収差補正の指標になり得ることを示し，論文誌Scanningに題目"Technology for FundamentalImprovement of an Extremely Low-Quality Video Signal for Use in FineFocusing and Astigmatism Correction in Scanning Electron Microscopy."として掲載された。画像共分散を活用する手法に関連して，2つのデータ間の類似度合いを表す指標である，相関係数についても着目し，同一視野の2枚のSEM像を2組，計4枚のSEM像から複数の共分散値を計算することにより，特にノイズが著しい条件下においても機能する新たな相関係数の検討を併せておこなった。この新たな相関係数は，低真空環境における連続取得高速走査像に対しも有効であり，SEM像観察時における試料損傷の程度も評価可能であることを明らかにし，日本顕微鏡学会第78回学術講演会にて「試料損傷の程度を調べるためのSEMノイズ成分の影響を受けない相関係数を得る高信頼性手法」と題して，学術講演をおこなった。

General な walkthrough electronic 顕 micro mirror (SEM) の eset に お い て, optimum な focus close わ せ の や operation, fully に nearly い 収 non point differential corrections を お こ な で う purpose, focus index を must る た め の SEM like に base づ の く signal generated に つ い て beg を 検 お こ な っ た. Focusing index となるSEM image に basis づく signal <s:1> stability upward を objective point に, new たな signal generation technique を proposal た た. When the signal に masato わ る important basic technology と な し て, SN ratio を priority し た SEM like get と move type portrait 処 Richard に base づ く signal correction を the deadline に use し た. Portrait of covariance に base づ く optimum な focus close わ せ と 収 non point differential corrections に お い て, human force を live か す support シ ス テ ム と し て, this study で with い る concentrate index upward を の performance review 価 し た. This technique は be used な van 囲 で ノ イ ズ に し seaborne て ほ ぼ を by け る こ と は な く, extremely め て ノ イ ズ の い SEM more like に し seaborne て も focus close わ せ や 収 non point differential corrections の index に な り must る こ と を し, The journal Scanningに title "Technology for FundamentalImprovement of an Extremely Low-Quality Video Signal for Use in FineFocusing and Astigmatism Correction in Scanning Electron Microscopy."と て て published in された. Portrait of covariance を use す る gimmick に masato even し て, 2 つ の デ ー タ の similar degree between us い を table で す index あ る, coefficient of phase masato に つ い て も mesh し, two same vision の の SEM like を 2 groups, 4 pieces of の SEM like か ら plural の covariance numerical を computing す る こ と に よ り, Trevor に ノ イ ズ が the し い conditions に お い て も function す る new た な phase coefficient of masato の 検 bummed を and せ て お こ な っ た. こ の new た な は masato coefficient, low vacuum に お け る even 続 achieve high-speed walkthrough as に し seaborne も have sharper で あ り, SEM like 観 when he に お け る sample may damage degree of の も review 価 で あ る こ と を Ming ら か に し, Japan 顕 micromirror society back to the 78 academic papers に て "sample damage degree of の を べ る た め の SEM ノ イ ズ composition の を by け な い phase masato coefficient を る high letter 頼 gimmick" と topic し て, academic speeches を お こ な っ た.

项目成果

SEMノイズ成分に影響されず試料損傷の程度を調べるための相関係数を得る高信頼性手法

获得相关系数的高度可靠方法，可在不受 SEM 噪声成分影响的情况下调查样品损坏程度

• 发表时间: 2022
• 作者: Eisaku Oho;Sadao Yamazaki;Kazuhiko Suzuki;山﨑貞郎，鈴木一彦，於保英作
• 通讯作者: 山﨑貞郎，鈴木一彦，於保英作