放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用
放電手法制御によるプラズマプロセス精密制御機構の解明とその応用
放电法控制等离子过程精密控制机理的阐明及其应用
批准号：
23K03368
负责人：
鎌滝 晋礼
金额：
$3.0万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
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直線磁場プラズマ中のドリフト波乱流における波動間結合の実験的研究
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批准号：08J01167
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.77万
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财政年份：2008
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负责人：鎌滝 晋礼
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依托单位：