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血管内用超小形半導体圧センサの試作

血管内用超小形半導体圧センサの試作
血管内用超小型半导体压力传感器的原型生产
批准号:
X00210----575254
负责人:
江刺 正喜
金额:
$0.51万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1980
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1980 至 --
关键词:

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生産性の高いシリコンのウェット垂直エッチング
  • 批准号:
    17651080
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $2.11万
  • 财政年份:
    2005
  • 负责人:
    江刺 正喜
  • 依托单位:
マルチチャンネル水晶振動子マイクロバランスの超小型化、高感度化に関する研究
  • 批准号:
    14655313
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额:
    $1.86万
  • 财政年份:
    2002
  • 负责人:
    江刺 正喜
  • 依托单位:
ニアフィールド光による波長限界を越える超微細パターンの一括転写
  • 批准号:
    09241203
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.6万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    江刺 正喜
  • 依托单位:
集積化容量形圧力センサの高性能化
  • 批准号:
    02555077
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
  • 资助金额:
    $9.02万
  • 财政年份:
    1990
  • 负责人:
    江刺 正喜
  • 依托单位: