インプロセス計測超精密加工制御の研究
インプロセス計測超精密加工制御の研究
在线测量超精密加工控制研究
批准号：
97J05255
负责人：
矢澤 孝哲
金额：
$0.58万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
1998
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1998 至 --
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会议论文
機上計測による3D精密テクスチャ加工の高精度化
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批准号：16760087
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$1.22万
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财政年份：2004
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负责人：矢澤 孝哲
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依托单位：