SOI構造材料の結晶性改善と評価
SOI構造材料の結晶性改善と評価
SOI结构材料的结晶度改善及评价
批准号：
59750236
负责人：
山本 康博
金额：
$0.51万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1984
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1984 至 --
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会议论文
多孔質シリコンの酸化による多孔質2酸化ケイ素の形成と, その湿度センサへの応用
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批准号：57750329
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.51万
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财政年份：1982
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负责人：山本 康博
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依托单位：
後方散乱法測定の自動化
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批准号：56750029
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额：$0.45万
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财政年份：1981
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负责人：山本 康博
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依托单位：